판매용 중고 TEGAL 903E Series #92424

TEGAL 903E 시리즈는 정확성과 정확성에 중점을 둔 웨이퍼, 칩, 기판 및 재료를 신속하게 처리하도록 설계된 혁신적인 단일 챔버 다이렉트 애셔/etcher 장비입니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 는 완전하게 자동화된 플랫폼을 기반으로, 버튼 터치로 프로세스 변수와 레시피를 제어할 수 있도록 허용하고, 결과의 반복성을 향상시킵니다. 습식 및 건식 에치 프로세스를 모두 갖춘 TEGAL 903E는 반도체, 나노 기술 및 MEMS 시장에서 고급 프로세스 개발 및 생산 테스트를위한 완벽한 도구입니다. 903E는 정밀한 컴퓨터 제어 로봇 암 (robotic arm) 과 정밀한 컴퓨터 제어 에치 챔버 (etch chamber) 로 인해 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 시스템은 매우 정확도가 높은 작은 샘플을 매우 빠르게 처리 할 수 있습니다. TEGAL 903E 에칭 장치 (Etching Unit) 는 공정 챔버와 함께 높은 처리량 응용 프로그램을 위해 설계되었으며, 정확한 에치 솔루션 양을 보정합니다. 초대형 반응 챔버 (extra-large reaction chamber) 는 웨이퍼 및 샘플의 완전한 적용 범위를 허용하여 최대 에칭 효율을 가능하게합니다. 또한 903E는 온보드 소프트웨어 및 다중 제어 언어와 함께 간단하고 사용하기 쉬운 터치스크린 사용자 인터페이스를 제공합니다. 모든 quench, etch 및 dry 연산은 완전히 자동화되고 정확하며, 공정에 대한 견고한 일관성과 정확한 제어를 제공합니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 는 사용자가 특정 재료의 에칭 및 증착 프로세스를 최적화하고 프로세스 레시피를 사용자 정의할 수 있도록 허용합니다. 웨이퍼는 TEGAL 903E에서 자동으로 로드되고 언로드되며, 샘플 방향은 완전히 자동화됩니다. 독특한 회전 및 진동 샘플 기능은 입자 축적 및 표면 거칠기를 최소화하는 데 도움이됩니다. 903E는 또한 웨이퍼 데미지 (wafer damage) 및 에치 후 거칠기 (post-etch roughness) 를 최소화하면서 더 높은 에치 레이트를 달성하고 해상도를 향상시키는 고급 퀸치 (quench) 절차를 포함합니다. 903E 시리즈는 강력한 올인원 에칭 및 asher/etcher 기계입니다. TEGAL 903E 는 높은 처리량, 뛰어난 정확도, 향상된 반복성, 완벽한 자동화 기능을 통해, 광범위한 애플리케이션에 적합한 소규모 샘플을 신속하게 처리할 수 있는 이상적인 솔루션입니다. 우수한 quench 절차는 우수한 웨이퍼 무결성, 향상된 etch 속도 및 해상도를 제공하여 고품질의 일관된 결과를 제공합니다.