판매용 중고 TEGAL 903E Series #83010

TEGAL 903E Series Etcher/Asher는 반도체 장치 제조, 인쇄 회로 기판 생산 및 MEMS 장치 제작을 포함한 광범위한 응용 분야에 사용되는 고급 인라인 화학 에처 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 정확도, 속도, 정밀도, 높은 유연성으로 에치하고 애셔링하도록 설계되었습니다. TEGAL 903E에는 고급 xy 축 동작 단계, 고해상도 광학 인코더 테이블 및 PC/Windows/Software 운영 환경이 포함됩니다. 동작 단계에는 긴 스트로크 선형 드라이브 (long-stroke linear drive) 와 넓은 영역 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 용이하게하는 내구성 있고 반복 가능한 스테이지 모션이 포함됩니다. 고해상도 광학 인코더 테이블은 정확하고 일관된 위치 지정 (positioning) 및 반복 가능한 동작 (motion) 을 제공하여 정확한 에칭 및 재싱을 보장합니다. PC/Windows/Software 운영 환경은 사용자 친화적이며, 이 장치를 쉽고 직관적으로 제어할 수 있습니다. TEGAL 903E는 에칭 및 애싱 (ashing) 을위한 밀봉 된 환경을 제공하는 멀티 존 진공 기계를 통합합니다. 진공 공구는 필요한 프로세스 수에 맞게 조정되며, 단일 영역 (single-zone) 공정에서 다중 영역 (multiple-zone) 공정에 이르기까지 다양합니다. 또한, 여러 가지 에치 레시피를 다른 프로세스를 위해 자산으로 프로그래밍 할 수 있으며, 단순하고 반복 가능한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 가능하게합니다. TEGAL 903E는 또한 고급 Cool-FaultTM 노즐 제어 모델을 갖추고 있으며, 이는 에칭 및 애싱 프로세스 제어를 향상시키기 위해 가스 흐름 및 압력 수준에 대한 정확한 제어를 제공합니다. 또한, 장비에는 웨이퍼 온도 모니터링 (wafer tempering monitoring) 및 피드백 시스템 (feedback system) 이 포함되어 기판 온도 정확성과 안정성을 보장하기 위해 쿨가스 노즐 조건을 자동으로 조정할 수 있습니다. TEGAL 903E에는 고급 네트워킹 기능도 포함되어 있습니다. 이 장치는 다른 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템, 또는 고객의 프로세스 컴퓨터에 네트워크로 연결되어 있어 프로세스 모니터링 및 제어가 용이합니다. 또한, 시스템을 고객의 기존 제어 소프트웨어에 네트워크로 연결하여 다른 인라인 (in-line) 처리 시스템과 통합할 수 있습니다. 전체적으로 903E 시리즈 에처/애셔 (Etcher/Asher) 는 정확한 제어 및 반복성이 필요한 어플리케이션을 위해 설계된 고급적이고 안정적인 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 자산에는 다양한 기능과 기능이 포함되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 유연하게 수행할 수 있으며 정확도, 속도, 정확도를 제공합니다.