판매용 중고 TEGAL 903 #9265523

TEGAL 903은 TEGAL Corporation에서 설계 및 제조 한 3 세대 에처/애셔입니다. 화학적 에칭과 화학적 애싱 (ashing) 을 결합하여 웨이퍼 제작을위한 새로운 키 프로세스를 제공하는 2 스프레이 장비입니다. 903 시스템은 두 스프레이 노즐 (two-spray nozzle) 의 각 가스의 정밀한 정렬, 화학 에칭 (etching) 및 화학 재싱 (chemical ashing) 에 대한 여러 매개변수를 개별적으로 제어하는 유연성 등 두 세계의 최고를 제공합니다. 이러한 기능을 통해 시간/온도 제어 (time/temperature control) 에서 복잡한 가스 및 컴포넌트 조합에 이르기까지 광범위한 프로세스 목표를 달성할 수 있습니다. TEGAL 903은 안정적인 성능과 고속 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 15 초 안에 최대 2 "(5cm) 웨이퍼를 에칭하고 부착 할 수 있습니다. 각 etch/ash 사이클을 0.1에서 2.0ml로 다이얼하여 사용자가 etch/ash 프로세스의 정도를 사용자 정의 할 수 있습니다. 개선 된 결과를 위해 단위를 등변 또는 통계적 모델 에치/애쉬 사이클 (etch/ash cycles) 로 설정할 수도 있습니다. 903은 고성능 머신으로, 디지털 프로세스 컨트롤, 온도 및 압력 센서, 총 로드 검사, 프로그래머블 논리 제어 시스템 등을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 완전한 프로그래밍 가능성과 프로세스 자동화가 가능합니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 256개 이상의 사전 설정 레시피를 액세스할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 이전 설치에서 사용되는 레시피를 빠르게 재생성할 수 있습니다. 안전성 측면에서 TEGAL 903은 업계에서 가장 엄격한 표준을 준수하도록 설계되었습니다. 과압 보호, 정적 방전 장치 및 arc-fault interlock 시스템이 장착되어 있습니다. 이 자산은 모든 적용 가능한 UL, CSA 및 IEC 안전 표준과도 호환됩니다. 결론적으로 903은 강력하고 구성할 수있는 에처/애셔입니다. 듀얼 프로세스 노즐 디자인, 고속 사이클 시간, 프로그래밍 가능한 운영 매개변수, 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖춘 TEGAL 903은 웨이퍼 제작을 위한 강력한 도구입니다. 뛰어난 정확도, 안정성, 안전성을 자랑하는 903 은 다양한 프로세스를 위한 완벽한 선택입니다.