판매용 중고 TEGAL 903 #9250122

TEGAL 903은 고급형 증기 위상 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 사용되는 배치 스타일, 증기 위상 에처/애셔 (asher) 로, 대량으로 정확한 결과가 필요합니다. 특허를받은 플라즈마 기반 전구체 화학을 갖춘 특허받은 저온 프로세스 (LTP) 가 특징이며, 지형이 최적화되어 깊게 식각 된 기능을 제공합니다. 이 장비는 에칭 (etching), 증기 증착 (vapour deposition) 및 증착 공정 (deposition process) 에서 높은 수준의 정밀도를 보장하기 위해 다양한 프로세스 모듈을 포함하도록 설계되었습니다. 이러한 모듈에는 3D 에칭, 제어 시간 에칭, 고급 필름 형성, 원자층 증착 및 기타 독점 프로세스가 포함됩니다. 903 (903) 은 자동화된 시스템으로, 장비를 수동으로 조정하지 않고 여러 가지 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 기계는 여러 정밀 구성 요소와 자동화 측정 (automation measurement) 을 갖추고 있어 반복 가능한 성능을 보장합니다. 이 장비의 전력은 1250 ~ 2500 와트로, 대용량 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치에는 터보 펄스 (turbo-pulse) 드라이브 (옵션) 도 포함되어 있어 더 높은 성능을 발휘하고 더욱 정확한 에칭 깊이를 제공 할 수 있습니다. 테갈 903 (TEGAL 903) 은 특허받은 온도 보상 (temperated temperation compensation) 기술로 기계가 일정한 에칭 깊이를 보장하기 위해 필요에 따라 전력 및 프로세스 매개변수를 조정할 수 있도록 해 준다. 또한 공정 가스의 매우 균일 한 분포를 제공하는 독특한 GHF (Gas Heaterflow) 도구가 있습니다. 또한, 자산은 자체 정렬 열 플래튼 (thermal platen) 과 함께 저온으로 작동하여 장치 표면에서 가스를 트랩 할 가능성을 줄입니다. 이 장비에는 에칭 및 애싱 레시피 프로그래밍을위한 온보드 레시피 관리자 (On-board Recipe Manager) 와 기울어진 각도 이미징, SEM 및 X-Ray 분석을 포함하여 프로세스를 모니터링하는 많은 분석 도구가 포함됩니다. 이 도구를 사용하면 장비의 정확성과 생산성을 극대화할 수 있습니다. 마지막으로 903은 높은 정확성과 반복 성을 위해 강력한 벡터 구동 모터를 갖추고 있습니다. TEGAL 903은 다재다능하고 정밀한 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 대용량 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 우수한 결과를 낼 수 있습니다. 다양한 프로세스 모듈 (process module), 고급 기능 (advanced features), 맞춤형 옵션 (customizable options) 을 통해 다양한 에칭 및 애싱 요구 사항을 충족할 수 있습니다.