판매용 중고 TEGAL 903 #9152161

테갈 903 (TEGAL 903) 은 최고 수준의 안정성과 성능을 갖춘 집적회로 (integrated circuit) 제조를위한 고급 플랫폼을 제공하는 에처 (etcher) 와 애셔입니다. "에치 (etch) '와" 애쉬 (ash)' 공정 (ash) 을 지원하는 신뢰할 수 있는 플랫폼으로, 다양한 반도체 공정 매개변수에 걸쳐 일관된 반복성과 생산성을 제공합니다. 903에는 최신 UI (User Interface) 및 직관적인 GUI와 고급 분산 메모리 기술, 매트릭스 기반 레시피, 정밀도 및 제어를위한 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 목록과 함께 다양한 프로세스 요구에 유연한 플랫폼이 있습니다. 또한 TEGAL 903은 전체 프로세스 균일성, 빠른 복구, 엄격한 프로세스 제어 사양, 멀티 에칭 프로세스 기능을 제공합니다. 903은 유전체 폴리사이드에서 RIE 및 어레이 애싱 응용 프로그램 (Array Ashing Application) 에 이르기까지 반도체 제조 작업의 전체 스펙트럼에 걸쳐 견고한 내구성과 안정적인 성능을 제공합니다. 테갈 903 (TEGAL 903) 은 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 사용하며, 에치 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 위한 레시피를 빠르고 쉽게 설정할 수 있는 다양한 장비 자동화 기능을 제공합니다. 이 시스템의 분산 메모리 기술을 통해 2 m (최대 8 ° m) 의 작은 제품에서 안정적이고 반복 가능한 패턴을 확보할 수 있습니다. 903은 또한 RIE shallow trench isolation (STI) 응용 프로그램과 같은 다중 etch 및 ash 작업에 대한 다중 프로세스 기능을 제공합니다. TEGAL 903의 CDA (Strust Control and Data Acquisition) 장치는 가장 까다로운 반도체 처리 요구를 충족할 수 있는 정확성과 반복 기능을 제공합니다. 903의 고급 아키텍처 (Advanced architecture of 903) 를 사용하면 프로세스 실행 중에 모든 매개변수를 정확하게 제어하고 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 포괄적인 PDS (Process Data Acquisition Machine) 또는 명령줄을 통해 프로세스 최적화를 제공할 수 있습니다. TEGAL 903은 파운드리 (Foundry) 와 어셈블리 (Assembly) 작업에서 높은 수준의 에칭 및 매싱 복잡성과 정밀도를 요구하는 경우 탁월한 성능과 비용 효율성을 제공합니다. 자동화된 (Automated) 및 수동 (Manual) 작업을 모두 지원하는 컨트롤과 소프트웨어 프로그램을 완벽하게 보완하여, 효율성을 최적화하고 성능을 높일 수 있습니다. 903의 궁극적인 목표는 최강의 품질의 최종 제품을 위한 안정적이고 비용 효율적인 제조 (manufacturing) 프로세스를 제공하는 것입니다.