판매용 중고 TEGAL 903 #9076197

TEGAL 903은 실리콘, 갈륨 비소, 인화 인듐 및 실리콘-온-인슐레이터 (SOI) 기질과 같은 다양한 재료의 정확하고 신뢰할 수있는 에칭/애싱에 사용되는 고급 플라즈마 기반 에처/애셔 장치입니다. 이 고급 장비는 신뢰할 수 있는 고해상도 전기 광학 스캐너와 광학 제어 컴퓨터 제어 에칭 챔버 (etching chamber) 를 결합한 혁신적인 설계를 특징으로합니다. 903은 기판의 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 모두 가능하게하여 다양한 응용 프로그램에 이상적인 올인원 시스템입니다. TEGAL 903은 1 미크론의 해상도, 0.5 미크론, 두꺼운 재료의 경우 5ms/미크론 에칭, 얇은 재료의 경우 0.3ms/미크론 에칭으로 매우 정확하고 효율적입니다. 이렇게 하면 모든 에칭/어싱 프로세스가 가능한 한 정확하고 일관성을 유지할 수 있습니다. 또한 4 개의 다른 에칭 가스를 사용하여 최대 4 개의 다른 패턴을 처리하도록 설정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 복잡하고 3 차원 구조를 정확하고 빠르게 만들 수 있습니다. 903에는 저전압 소스로 구동되는 독특한 플라즈마 발전기 (plasma generator) 가 장착되어 있습니다. 이 발전기 는 모든 공정 을 위해 안정 된 "플라즈마 제트 '를 만들어 내도록 설계 되어 있으며, 기판 형태 에 관계 없이 일관성 있는 결과 를 낼 수 있다. 이 기계는 또한 매우 정확한 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 로 구성되어 있어 정확한 매개변수 설정을 빠르고 쉽게 특성화할 수 있습니다. TEGAL 903은 사용하기가 비교적 쉽습니다. 즉, 사용자 친화적 제어판을 통해 모든 작업을 자동화할 수 있기 때문입니다. 이 도구에는 안전 기능이 내장되어 있으며, 에칭 챔버 (etching chamber) 는 모듈러 프레임에 연결되어 있습니다. 이 프레임은 작동 중 진동 및 이동을 줄여, 일관되게 정확한 프로세스를 제공합니다. 또한, 903에는 다양한 진공 펌핑 (vacuum pumping) 시스템이 함께 제공되어 총 에칭 시간을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 TEGAL 903은 저렴한 가격으로 정확성과 정밀도를 모두 제공하는 고급 에칭/애싱 (etching/ashing) 자산입니다. 여러 가지 프로세스 (process) 와 기판 (substrate) 유형을 처리할 수 있으며, 직관적인 설계를 통해 복잡한 에칭 (etching) 프로세스를 오류 없이 빠르고 빠르게 완료할 수 있습니다. 903은 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 에칭 및 애싱 (ashing) 솔루션을 원하는 사용자에게 이상적인 선택입니다.