판매용 중고 TEGAL 903 #9071954

TEGAL 903은 다양한 기판을 처리하도록 설계된 고성능 etcher/ascher 시스템입니다. 최대 에치 속도는 400 nm/min, 최대 증착율은 500 nm/min으로, 더 큰 기판을 처리하는 데 이상적입니다. 전기판 전체에 균일성을 허용하는 고급 이중 패스 프로세스 (Advanced Dual Pass Process) 가 있으며, 정밀한 에칭 및 증착 프로세스에 적합합니다. 903 은 다양한 조정 가능 (adjustable) 매개변수를 제공합니다. 즉, 사용자는 특정한 요구에 맞게 프로세스를 조정할 수 있습니다. 여기에는 공정 압력, 챔버 온도, 공정 지속 시간 및 가스 구성, 엔드 포인트 감지, 에칭 및 증착을위한 반응성 가스 혼합 (reactive gas mixing) 과 같은 다양한 프로세스 변수가 포함됩니다. TEGAL 903은 자동 이산화탄소, 질소 제거, 압력 모니터링, 전압 보호, 지상 결함 인터럽터 등 다양한 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 모든 안전 시스템은 장치를 안전하게 작동 할 수 있습니다. 903은 또한 높은 수준의 자동화 및 제어 (control) 를 통해 에치 (etch) 및 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 TEGAL 903의 작동을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 903은 반도체 제작, 전자 광학, 마이크로파 및 MEMS 장치에 사용됩니다. 또한 데이터 저장 장치, 재료 특성, 광자 장치 제작, 생체 의료 장치 등 다른 많은 응용 분야에도 적합합니다. 결론적으로, TEGAL 903은 광범위한 애플리케이션을 위해 설계된 고급 다기능 etcher/asher 시스템입니다. 기본 기판 처리를 위한 이중 패스 프로세스 (dual pass process), 개별 사용자의 요구에 맞게 프로세스를 조정할 수 있는 매개변수 제어 (adjustable parameter control to tailor processes to the individual user's needs), 안전한 운영을 위한 다양한 안전 시스템, 효율적인 작업을 위한 사용자 친화적 GUI 등이 있습니다. 광범위한 사용자가 알 수 있듯이, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다.