판매용 중고 TEGAL 903 #9007913

TEGAL 903은 소형 랜덤 논리 및 메모리 칩 생산을 위해 설계된 etcher/asher입니다. 전자빔 소스 (electron beam source) 와 빔 디플렉션 (beam deflection) 장비를 장착하여 높은 처리량과 일관된 에치 품질을 얻을 수 있습니다. 903은 기능 크기가 1 미크론 미만인 웨이퍼를 안정적으로 생산하는 것으로 입증되었습니다. 이 시스템은 매우 정밀하게 소재를 이온화 및 퇴적시킬 수있는 독립적으로 조절 가능한 그리드 형 전자 빔 (electron beam) 방출 기가있는 고급 천공 스퍼터 건 (sputter gun) 을 갖추고 있습니다. 이 고급 전자 빔 소스와 혁신적인 빔 디플렉션 유닛 (beam deflection unit) 을 통합하면 1 미크론 미만의 해상도에서 높은 처리량 에칭 (etching) 이 가능하며, 이는 초미세 선 너비 및 접촉 구멍과 같은 기능에 유용합니다. 이 기계는 프로세스 반복성 (repeatability) 과 프로세스 제어를 보장하기 위해 여러 가지 혁신적인 기능을 제공합니다. 닫힌 루프 피드백 (closed loop feedback) 도구는 충전 결합 장치 카메라를 사용하여 etch 진행 상황을 모니터링하고 mid-etch 수정하여 균일성, 접촉 구멍 정밀도, 너비 및 깊이와 같은 중요한 프로세스 매개변수를 유지합니다. 자산에는 조정 가능한 가스 밸브가 장착되어 있어 측벽 각도, 증착률, 피쳐 크기, 에치율 (etch rate) 과 같은 에칭 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 에치 레이트 모니터는 또한 웨이퍼 전체에서 균일성을 유지하기 위해 피드백을 제공하는 데 도움이됩니다. 프로세스 정확성을 보장하기 위해 TEGAL 903은 정밀 스크러버 (scrubber) 및 3 차원 Wi-Fence 기능을 사용하여 패턴을 높은 정확도로 마스크에서 웨이퍼로 전달합니다. 이 모델의 프로그래밍성 (programmability) 은 또한 사용자가 특정 요구에 맞게 프로세스를 조정할 수 있도록 사용자 정의 가능한 레시피를 허용합니다. 903의 가장 주목할만한 기능 중 하나는 다중 도구 특성입니다. 다양한 생산 요구를 충족시키기 위해 에칭 (etching), 도금 (plating) 및 기타 유형의 프로세스에 사용할 수 있습니다. 높은 처리 능력과 정교한 제어 알고리즘으로, TEGAL 903은 랜덤 로직 (random logic) 과 메모리 (memory) 칩의 볼륨 생산에 적합합니다.