판매용 중고 TEGAL 903 #293815401

TEGAL 903은 고성능 에치 시스템 제조업체 인 TEGAL이 만든 에처 및 애셔입니다. 903은 최대 350 ° C의 온도 범위를 가진 물질의 플라즈마 에칭 및 재 (ashing) 를 수행하도록 설계되었습니다. 터렛 스타일의 엔드 이펙터 헤드 (end effector head) 가있는 내장 퍼넌스 모듈 (furnance module) 을 갖추고 있어 로드 및 빔 정렬을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 장비는 최소 바이어스 간격이 0.15µm 인 0.5äm (작은 크기 제어) 로 고품질 에치와 재를 생산할 수 있습니다. 에처 (etcher) 에는 원하는 에치 프로파일을 생성하기 위해 결합할 수 있는 여러 가지 프로세스 구성이 포함되어 있습니다. RF 전원 공급 장치와 터보 분자 진공 펌프 (turbo molecular vacuum pump) 가 있어 높은 수준의 공정 제어를 제공합니다. 이 시스템에는 또한 공정 피드백 (process feedback) 과 압력 모니터 (pressure monitor) 가 포함되어 있어 에칭 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. TEGAL 903은 0.1 ~ 10 nm 범위의 도펀트 로딩이있는 반도체의 저온 도핑과 같은 도핑 응용 분야에 적합합니다. 또한 자동차 가스 차단, 진공 압력 모니터링, 오염 방지 장치 (Unit Purge) 와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 에처 (etcher) 는 질량 분석기와 통합되어 에칭 매개변수에 대한 자세한 분석과 다른 기판을 수용하기위한 다양한 유형의 샘플 홀더 (sample holder) 와 통합 될 수있다. 이 기계는 프로세스 제어를 완료하기 위해 다른 시스템 및 기기와의 통합에 잘 부합됩니다. 903 은 사용자 친화적이며, 높은 수준의 자동화를 통해 대용량 운영 애플리케이션에 적합합니다. 그것의 특징은 가장 유능한 플라즈마 에칭 및 애싱 시스템 중 하나입니다.