판매용 중고 TEGAL 903 #293655091

테갈 903 (TEGAL 903) 은 광범위한 고정밀 장치, 특히 전자, 통신 및 반도체 산업에 사용되는 것을 생산하기 위해 특별히 설계된 고성능 플라즈마 에처/애셔입니다. 안정적이고 강력한 장비로, 플라스틱, 세라믹, 유리 등 다양한 기판에서 고정밀도, 고출력 에칭, 애싱 (ashing) 공정이 가능합니다. 903은 완전 자체 포함 플라즈마 처리 시스템으로, 플라즈마 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을위한 독립형 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 비용 효율에 맞게 최적화되었으며, 정밀 (precision) 프로세스를 위한 견고하고 안정적인 플랫폼을 제공하며, 설치와 작동이 간편합니다. 이 시스템에는 더 넓은 기판 커버리지를 허용하는 대형 표면 판 (Large Surface Plate), 높은 진공 측의 진공 등급 (Vacuum Rate), 공정 중 더 높은 가스 입체 기능 및 뛰어난 냉각, 조정 가능한 온도 범위 (120 ° C ~ 400 ° C) 가 포함됩니다. TEGAL 903을 사용하면 etch time, etch rate, duty cycle, substrate activation profile 등의 프로세스 매개변수를 자동화하거나 수동으로 제어할 수 있습니다. 또한, 에칭 프로세스 및 작업 데이터 입력을 쉽게 제어할 수 있는 다국어 터치 스크린 인터페이스가 있습니다. 이 프로세스를 모니터링하기 위해 903에는 고급 광학 모니터링 시스템 (Optical Monitoring System) 이 장착되어 있어, 사용자가 에치 프로파일을 정확하고 원격으로 모니터링할 수 있습니다. TEGAL 903 플라즈마 에처/애셔 (plasma etcher/asher) 는 높은 처리량 기능을 위해 고급 디자인으로 최고 품질의 에치 및 애셔 속도를 유지할 수 있습니다. 견고한 설계로 플라즈마 활성화 (plasma activation) 를 처리하고 경쟁 제품보다 시간이 상당히 길어집니다. 또한, 기질에 대한 우수한 마모 및 부식 내성을 제공하여 향후 내구성, 일관된 에치 (etch) 및 애셔 성능을 보장합니다. 전체적으로 903은 고정밀 장치 생산에 귀중한 장비입니다. 탁월한 성능, 안정적인 운영, 비용 효율성을 통해 생산성 극대화, 비용 최소화, 최고 품질의 기판 (substrate) 을 생산할 수 있는 최적의 선택입니다.