판매용 중고 TEGAL 903 #293594520

테갈 903 (TEGAL 903) 은 정밀하고 효율적인 나노 구조를 제작하기 위해 설계된 현대식 직접 쓰기 석판화 장비입니다. 이 시스템은 고급 옵틱 (optics), 포지셔닝 시스템 (positioning system) 및 특수 소프트웨어를 사용하여 광원에 사진 저항을 정확하게 노출시킵니다. 고해상도 렌즈 (lense) 와 거울 (mirror) 은 빛 에너지를 기판에 집중시켜 제어 석판화를 허용하는 데 사용됩니다. 이 단위는 나노 구조를 수십 나노 미터로 패턴화할 수 있습니다. 903은 다양한 기판과 함께 사용할 수있는 업계 표준 장치 (industry-standard device) 로, 정밀도가 높은 나노 구조를 만들기 위해 저항합니다. 이 기계는 여러 구성 요소를 포함하며, 각 구성 요소는 리소그래피 (lithography) 과정에서 중요한 역할을합니다. 광원 (light source) 모듈은 공구의 핵심 컴포넌트이며, 사용되는 광원 (light source) 유형은 기록해야 하는 패턴에 따라 달라집니다. 작업에 따라 광원은 레이저, i-line 또는 ArF excimer 레이저가 될 수 있습니다. 표준 광 구성 요소 외에도 TEGAL 903에는 3 축 동력 및 수동 제어 기능이있는 스테이지 포지셔닝 에셋 (stage positioning asset) 이 포함되어 있어 정확한 기판 위치를 보장합니다. 정확한 패턴을 보장하기 위해, 모델에는 노출된 패턴의 완벽성을 보장하기 위해 정교한 정렬 (aligning) 및 도량형 (metrology) 도구가 있습니다. 또한 903은 용량 (dose) 및 초점 제어 (focus control), 적용 전압 (applied voltage) 및 펠리클 위치 지정 (pellicle positioning) 을 포함한 여러 프로세스 제어 매개변수를 제공하여 다양한 응용 프로그램에 대한 정확한 프로세스 제어를 가능하게합니다. 이 장비에는 최대 200 ° C의 가열되는 저항 베이킹을위한 보조 광원이 포함되어 있습니다. 소프트웨어 전원 공급 TEGAL 903은 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 빠른 샘플 생성 및 빠른 프로토타입을 가능하게합니다. 903은 나노 재료 (nanomaterials) 에 맞게 특별히 설계된 가장 넓은 범위의 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 시스템으로, 다양한 고객의 고유한 생산 요구에 적합한 유연성을 제공합니다. 고급 옵틱, 지능형 소프트웨어, 정밀 전동 제어 기능을 갖춘 TEGAL 903을 통해 사용자는 매우 정확하고 반복 성으로 나노 구조를 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 할 수 있습니다.