판매용 중고 TEGAL 903 #173938

TEGAL 903은 반도체 웨이퍼와 같은 고기술 제품의 제조에 사용되는 수동, 정전기, 플라즈마 에칭/애셔입니다. 첨단 연구, 개발 및 프로토 타입 (prototyping) 실험실에 사용하기 위해 가장 다양하고 강력한 건식 에칭 장비 중 하나입니다. 이 기계는 실리콘, 금속, 유전체, 수동염 및 기타 여러 기질과 같은 다양한 재료를 에치/재로 만들 수 있습니다. 에칭 프로세스는 매우 정확하며, 선택성이 높은 미세한 기능을 에치 할 수 있습니다. 이 기계는 플라즈마 동력 정전기 전계 발전기 (plasma-powered electrostatic field generator) 의 새로운 기술을 사용하여 금속 이온 및 기타 반응성 물질을 웨이퍼 표면으로 구동합니다. 903에는 다중 마스크 에칭 및 가변 온도 범위 (가변 온도 범위) 를 허용하는 이중, 고립 된 정전기 챔버가 있습니다. 두 방은 서로 다른 온도에서 작동 할 수 있으며, 매장 깊이를 제어하면서 복잡한 패턴 에칭 (etching) 을 생성 할 수 있습니다. 조절 가능한 압력 및 온도 설정을 통해 TEGAL 903은 다양한 증착 두께를 달성 할 수 있습니다. 이를 통해 최적의 에칭 속도와 출력 품질을 선택할 수 있습니다. 903은 특히 실리콘 (silicon), 저마늄 (germanium) 과 같은 재료를 사용할 때 매우 높은 에치 속도를 낼 수 있습니다. 이 기계는 높은 처리량 및 반복성을 위해 안정적인 에치 (etch) 환경을 유지하는 고급 진공 시스템 (advanced vacuum system) 을 갖추고 있습니다. 자동 레벨 제어 기능을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 에서 웨이퍼 (wafer) 까지 반복 가능한 에치 프로파일을 사용할 수 있습니다. TEGAL 903은 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 다양한 설계를 통해 마스킹, 증착, 에칭, 청소 등 모든 에칭 절차에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 직관적인 메뉴 구조, 첨단 기술 등으로 인해 반도체 장치 제작 전문가들에게 적합한 선택이 됩니다 (영문). 이 기계는 저렴하며, 비용 효율적인 방식으로 신뢰할 수 있는 작동을 제공합니다.