판매용 중고 TEGAL 903 & 903E Series #425

TEGAL 903 & 903E 시리즈는 다양한 응용 프로그램, 특히 MEMS 및 반도체 관련 장치 제작을 위해 에처/애셔, 에칭, 애싱 및 드라이 에칭을위한 고급 도구입니다. 혁신적인 가열 가스 흐름 장비를 사용하여 표적 재료를 에치 (etch) 및 애쉬 (ashe) 하고, 높은 에치 레이트, 향상된 장치 처리량 및 에치 사이클 시간을 제공합니다. 903 & 903E 시리즈에는 300mm x 400mm x 40mm의 넓은 에칭 면적이있는 크고 넓은 챔버가 있습니다. 에치 레이트를 제어하기 위해 낮은 유지 보수 쿼츠 튜브 (low-maintenance quartz tube), 부드러운 세라믹 벽 및 가변 주파수 컨트롤러가있는 고정밀 드라이브 시스템이 있습니다. 이 장치에는 압력, 온도, 가스 흐름, 보호 가스 유형, 챔버 환기 속도, 매개변수 선택 및 로드/언로드를 포함한 많은 고급 프로세스 컨트롤이 있습니다. 전체적으로, TEGAL 903 & 903E 시리즈는 많은 고급 프로세스 컨트롤과 함께 뛰어난 에칭 성능을 제공하여 전통적인 금속과 새로운 재료를 고정밀 에칭, 재싱할 수 있습니다. 이 기계는 신뢰성, 낮은 유지 보수 및 경제적 운영을 위해 제작되었습니다. 903 & 903E 시리즈는 대용량 프로세스 창, 빠른 에치 속도 및 향상된 장치 처리량을 제공합니다. 또한 입자 오염을 줄이고, 주기 시간이 짧아 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 시리즈는 레이저 활성화 에칭, 이온 에칭, 반응성 이온 에칭, 플라즈마 에칭 및 유전체, pictronics 및 광학 재료의 RIE를 수행 할 수 있습니다. 이는 electro-optics, photonics, semiconductor device fabrication 및 MEMS를 포함한 다양한 산업 및 상업 응용 분야에 적합합니다. 전체적으로 TEGAL 903 & 903E 시리즈는 뛰어난 에칭 성능, 높은 에치 속도, 뛰어난 장치 처리량, 향상된 주기 시간을 제공하는 고성능 etcher/asher입니다. 이 도구에는 전통적인 금속의 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 과 다양한 산업 응용 분야를위한 새로운 재료가 가능한 많은 고급 프로세스 컨트롤이 있습니다.