판매용 중고 TEGAL 901e #9314694

TEGAL 901e Asher는 회로 기판 및 기타 부품 생산을위한 현대적이고 첨단 에칭 장비입니다. 최신 CMP (Chemical Mechanical Planarization), RIE (Reactive Ion Etch) 및 Wafer Clean을 결합한 시스템입니다. TEGAL 901 E는 반응성 산소 혼합물을 사용하여 공간 해상도가 높은 회로 기판 부품을 생성하는 고성능 드라이 에치 (dry-etch) 장치입니다. 901e의 기본 구성에는 에칭 공정에 필요한 가스의 정확한 혼합물의 흐름을 생성하고 관리하는 2 개의 가스 박스 (gas box) 가 포함됩니다. 이 가스 상자는 에칭 챔버 위쪽과 아래에 있습니다. 에칭 챔버는 스테인리스 스틸 진공 타이트 처리 챔버로, 캐리어/마스크, 대상 보드 및 기판을 수용합니다. 챔버 도어 (chamber door) 에 통합 된 압력 제어 (Pressure Control) 기계가 있으며 챔버의 안전한 개폐 및 폐쇄를위한 빠른 통풍구 밸브가 장착되어 있습니다. 901 E에는 4 존 (zone), 4 미크론 (micron) 수준의 가열 도구와 각 에칭 단계마다 온도 및 가스 전달을 정확하게 제어하는 컨트롤러가 있습니다. TEGAL 901e에는 강력한 펄스 파워 제너레이터 (Pulsed Power Generator) 가 포함되어 있으며, 대상 및 캐리어에 대해 제어되고 일관된 에너지 분배를 제공합니다. 이를 통해 균일성, 선택성 및 에치 속도 기능을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 단일 마스크 또는 다중 마스크 에칭을 모두 허용하는 완전 자동화 에셋입니다. 또한 TEGAL 901 E는 내장 데이터 로깅, 클리닝 및 엔드 스테이지 검사를 제공하여 에칭 단계의 반복성과 최소한의 재료 낭비를 허용합니다. 901e에는 온도, 압력 및 변형 센서를 포함한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델은 잠금 가능한 핸들, 연동 지원 후크 (Interlock Support Hook) 및 폭발성 유리 (Explosion-Proof Glass) 가있는 인체 공학적 작동 도어로 설계되어 에칭 프로세스에서 최고 수준의 안전을 보장합니다. 901 E의 성능은 5 미크론의 에치 해상도 (etch resolution) 와 구리, 알루미늄 및 기타 재료의 증착률 (deposition rate) 을 생산할 수 있기 때문에 시장에서 최고입니다. 장비는 일관되고 반복 가능한 결과로 작동합니다. 고급 기능으로 인해 전기 회로 기판, 집적 회로 및 기타 중요한 부품에 이상적인 에칭 시스템이되었습니다.