판매용 중고 TEGAL 901e #9312031

TEGAL 901e는 다양한 에칭 응용 프로그램에서 사용하도록 설계된 고급 에처입니다. 다중 계층 필름 에칭 스테이션, 3 챔버 배치 (배치) 에칭 프로세스 및 통합 시스템 열 관리 장치를 갖춘 완전 통합 장비입니다. TEGAL 901 E에는 고성능 저항, 조절 가능한 에칭 챔버, 고정밀 마스크 정렬, 웨이퍼 온도 조절, 먼지 및 용매 정제 시스템 (옵션) 이 장착되어 있습니다. 901e 는 최대 3 단계 필름 에칭 프로세스를 지원하므로 다양한 필름 두께, 밀도, 두께 공차를 가져올 수 있습니다. etching 프로세스는 완전히 자동화되어 사용자가 여러 처리 매개변수를 처리할 수 있는 ExactMetrology 소프트웨어 (ExactMetrology software suite) 에서 작동합니다. 901 E 의 다중 계층 (multilayer) 프로세스를 통해 사용자는 여러 개의 필름 레이어를 한 번에 불러올 수 있으며, 이는 회로 기판, 전자 부품, 기타 복잡한 하드웨어 제품의 대량 생산에 적합한 툴입니다. 고성능 레지스트 레이어를 갖춘 TEGAL 901e는 다양한 패턴과 모양을 가져올 수 있습니다. 조절 가능한 에칭 챔버를 사용하면 금, 은, 알루미늄 및 팔라듐 합금을 포함한 여러 재료를 에칭할 수 있습니다. TEGAL 901 E의 오버랩 본드 (overlap bond) 기능은 뛰어난 필름 해상도와 균일성을 적용 할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어 제어 플라즈마 압력 제어 기계 및 웨이퍼 온도 제어 (wafer temperature control) 는 에치 프로세스가 효율적이고 정확한지 확인합니다. 901e에는 성능을 향상시키기 위해 여러 가지 정교한 기술 기반 시스템이 장착되어 있습니다. 고밀도 마스크 정렬을 통해 패턴의 정확한 정렬 및 반복이 가능하며, 먼지/용매 정화 시스템 (옵션) 은 깨끗한 환경을 유지하여 안전하고 효율적인 에칭을 보장합니다. 50 cm2/min의 높은 출력으로 901 E는 다양한 기판과 재료를 빠르고 정확하게 에치 할 수 있습니다. 전반적으로 TEGAL 901e는 매우 정확하고 효율적인 결과를 낼 수있는 고급 에칭 도구입니다. 최첨단 기술, 다용도 및 조절 가능한 에칭 챔버, 사용자 친화적 인터페이스로, 어플리케이션을 에칭하는 데 적합합니다. 강화된 안전 프로토콜 (Safety Protocol) 과 높은 출력율을 결합한 강력한 기능을 통해 TEGAL 901 E 는 복잡한 부품과 부품의 대량 생산에 이상적인 솔루션이 됩니다.