판매용 중고 TEGAL 901e #9269137

TEGAL 901e는 대용량 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 고급형 etcher/asher 장비입니다. 그것 은 "미크론 '의 정밀도 로 6" 미크론' 에 달하는 매우 다양 한 재료 를 식각 할 수 있는 자동화 된 기계 이다. 최고 수준의 정확성과 반복성을 제공하며 질화물 실리콘 (nitride silicon), 알루미늄 (aluminum), 텅스텐 (tungsten) 을 포함한 다양한 물질에서 식각 할 수 있습니다. 최대 웨이퍼 크기는 12 인치이며 process operator 매개 변수를 수용 할 수 있습니다. TEGAL 901 E의 에치 챔버 (etch chamber) 는 닫힌 박스 설계로, 최적의 에칭 결과를 위해 정확한 온도 및 흐름 조건을 제공합니다. CD 컨트롤은 최첨단 선형 인코더 (linear encoder) 장치로, 여러 실행에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공 할 수 있습니다. 챔버 자체는 낮은 누출, 스테인레스 스틸 (stainless steel) 구조로 만들어졌으며 강력한 냉각 시스템 성능을 위해 차가운 벽 척을 포함합니다. 또한 901e 는 프로세스 수준 기능 외에도 다양한 프로세스 모니터링 및 데이터 로깅 기능 (예: 범용 Computerized Control Unit 및 광범위한 데이터 로깅 기능) 을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수 (process parameters) 가 일관성 있게 기록 및 추적되고 프로세스 또는 설정에 대한 변경 내용이 정확하게 보고됩니다. 즉, 운영 볼륨을 개선하고 일관되게 유지하는 동시에, 결과를 분석할 수 있는 안정적인 토대를 제공합니다. 안전성 평가기 (Safety Evaluation Machine) 를 갖춘 강력한 안전성 프로그램을 제공하는 901 E 는 전체 프로세스 전반에 걸쳐 안전성 관련 요인을 모니터링할 수 있게 해 줍니다. 또한, 자동 종료 기능 (automatic shutdown function) 을 통해 비상 사태가 발생할 경우 프로세스를 안전하고 효율적으로 종료할 수 있습니다. 전반적으로, TEGAL 901e는 고도로 고급적이고 고급 etcher/asher 도구이며, 신뢰할 수 있고, 시간 효율적이며, 정확한 에칭 및 애싱 재료 방법을 제공합니다. 파인 라인 에칭 (fine-line etching) 에서 딥 에칭 (deep etching) 에 이르기까지 다양한 프로세스에 사용할 수 있으며 대용량 생산 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 그 뛰어난 정확성과 반복성 (repeatability) 은 많은 다른 재료를 정확성과 정확성으로 에칭하여 비즈니스의 성공과 수익성을 높일 수 있도록 합니다.