판매용 중고 TEGAL 901e #9247682

TEGAL 901e Etch/Asher는 초대형 웨이퍼 작동을 위해 설계된 고급 석판화 장비입니다. 모든 장치 유형에 대해 다양한 균일, 등방성 에칭 및 평면 화 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 셀 사이드 (cell side) 및 기판 준비 기술의 최신 발전을 활용하여 모든 에칭 (etching) 및 플라나라이제이션 (planarization) 프로세스에 대한 뛰어난 균일성과 제어를 제공합니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 330mm의 넓은 활성 영역을 사용하며, 단일 플랫폼 및 멀티 스텝 플랫폼 모두에서 사용할 수 있으므로 더 많은 동적 레시피와 에칭 구조의 유연성이 가능합니다. 이 플랫폼은 Windows 기반 레시피 소프트웨어 인 TEGAL Recipe Manager (TRM) 를 통해 운영자가 맞춤형 레시피를 구축하고 작업을 간소화하고 처리량을 늘릴 수 있습니다. 901e의 제논 램프 구동 광원 (xenon lamp driven light source) 과 스마트 히터 소프트웨어 컨트롤러 (Smart Heater software controller) 는 다양한 온도에서 사진 정의 가능한 에치 결과를 제공합니다. 또한, 이 장치는 고속 전송 및 스캔 기능을 제공하며, 최대 스캔 속도는 300mm/sec입니다. 901 E는 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 다양한 안전 지향 기능 (safety-orientated function) 과 운영자에 대한 경고를 제공합니다. 이 기계는 하드웨어 및 소프트웨어 신뢰성을 높이기 위해 여러 가지 FAC (fail-safe test) 를 거쳤습니다. 하드웨어 지원 측면에서 TEGAL 901e 는 다양한 호스트 컴퓨터 (Host Computer) 에 접속하여 다양한 운영체제와의 호환성을 제공합니다. 또한, 이 도구는 대부분의 표준 석판화 도구에서 CAM 파일을 허용할 수 있으며, 생산 중 정확성과 품질을 보장하기 위해 확인 데이터 파일을 출력할 수 있습니다. TEGAL 901 E는 매우 큰 웨이퍼 (wafer) 작업에 이상적인 선택으로, 높은 수준의 안정성, 유연성 및 제어를 제공합니다. 자산의 검증된 균일성 (unifority), 속도 (speed) 및 효율성 (efficiency) 을 통해 사용자가 정확하고 정확하게 장치를 생산할 수 있습니다.