판매용 중고 TEGAL 901e #9244751

테갈 901e (TEGAL 901e) 는 오늘날 가장 까다로운 반도체 제작 공정에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 아트 에처/애셔 (echer/asher) 상태입니다. TEGAL 901 E는 강력한 500 와트 유도 소스를 특징으로하며, 높은 수율과 회전 시간이 있는 높은 컨택트 앵글 에치 프로파일을 제공합니다. 물리적 (physical) 프로세스와 화학적 (chemical) 프로세스의 조합은 etch selectivity, overetch ratio, etch depth 등의 중요한 매개변수에 대한 뛰어난 제어를 제공하면서 일관되고 반복 가능한 에치 패턴을 보장합니다. 901e는 또한 독특한 고밀도 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 좁은 범위의 플라즈마 에너지를 가진 고출력 이온을 생성합니다. 이를 통해 유기 필름과 무기 필름의 매우 얇은 층을 선택적으로 에칭하여 우월하고 재생성 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 공정 일시로부터 목표 외 (off-target) 예금 및 기타 인공물을 줄여 민감한 기판 재료에 대한 의도하지 않은 손상을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한 901 E 는 etch 기능 이외에도 고급 (advanced) 제어 시스템을 통해 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 에치 지속 시간 (etch duration) 에 대한 정확한 제어를 위해 광학 엔드포인트 검출 (optical endpoint detection) 을 사용하며 운영 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 사이트 내 센서 시스템을 사용합니다. 또한 프로세스 조건 (process conditions) 의 변화를 감지하고 사용자에게 악영향을 방지하도록 경고하는 여러 경고 시스템 (warning system) 이 있습니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 또한 고급 진단 기능과 내장 레시피를 제공하여 가장 복잡한 에치 프로젝트가 정확하고 효율적으로 완료되도록 합니다. 레시피 라이브러리를 사용하면 자주 사용되는 에치 (etch) 프로세스를 저장하거나, 사전 프로그래밍된 레시피를 사용하여 일부 작업을 신속하게 수행할 수 있습니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 또한 내장 비상 종결 시스템 (Emergency Shut-off System) 과 같은 탁월한 안전 기능과 운영자의 적극적인 모니터링을 통해 항상 안전한 운영을 보장하도록 설계되었습니다. 요약하면, 901e는 오늘날 가장 까다로운 반도체 제작 프로세스의 요구에 맞게 설계된 고급 에치 (etch) 시스템입니다. 탁월한 기판 선택성, 고수율, 반복 가능한 에치 패턴, 에치 프로세스 (etch process) 에 대한 고급 제어 및 안전 모니터링을 제공합니다.