판매용 중고 TEGAL 901e #9244749

TEGAL 901e는 전자 회로 및 마이크로 구조화 된 표면의 정밀 에칭을 위해 설계된 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 직경 200mm (8 인치) 의 기판을 처리 할 수 있으며 분당 최대 10 미크론의 에치 레이트에 도달 할 수 있습니다. TEGAL 901 E는 직접 결합 플라즈마 (DCP) 기술을 사용하여 기판에 반응성이 높은 플라즈마를 적용합니다. 이 플라스마는 무선 주파수 에너지로 구동되며 901e 내에서 분리 된 환기 챔버에서 생성됩니다. 이 프로세스는 기판의 서피스가 손상되지 않고 전체 작업공간에 대해 정밀하고 균일한 에칭 (etching) 응답을 생성합니다. 또한, 전체 처리 챔버 (processing chamber) 는 플라즈마를 함유하도록 특별히 설계되어 작업 공간으로 탈출하지 못합니다. 또한 901 E는 디지털 제어, 다차원 가스 분배 장비를 사용하여 정밀한 빔 프로파일 제어 (beam profile control) 및 설정을 할 수 있습니다. 이 가스 전달 시스템 (Gas Delivery System) 을 사용하면 빔 전달 프로파일을 정확하게 제어할 수 있으며, 수직 또는 수평 에칭 스텝 로딩을 제거할 수 있습니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 운영 중 정확성과 일관성을 보장하기 위해 다양한 고급 프로세스 제어 및 모니터링 시스템을 제공합니다. 정밀하고 반복 가능한 성능을 보장하기 위해 실시간 온도 및 압력 판독값을 제공합니다. 이 장치는 또한 다양한 센서와 피드백 시스템 (feedback system) 을 제공하여 프로세스 매개변수를 모니터하고, 결과 데이터를 그래픽으로 쉽게 이해할 수 있는 형식으로 표시합니다. 또한, TEGAL 901 E는 챔버 및 기판의 온도를 조절하는 데 도움이되는 통합 냉각수 공급 기계를 갖추고 있습니다. 이 냉각재 전달 도구는 정확도 및 반복성 향상을 위해 더욱 제어하고 조정할 수 있습니다. 901e는 또한 안전성 및 편의성 (예: 자산의 의도하지 않은 작동을 방지하는 인터록 도어 스위치) 을 제공합니다. 또한 자동으로 높은/낮은 경보 및 관련 푸시 버튼이 제공됩니다. 전체적으로 901 E는 정확성과 반복성으로 직경 200mm의 기판을 처리하도록 설계된 효율적이고 정밀한 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 실시간 온도, 압력 판독 장치, 디지털 코딩형 빔 프로파일 제어 (digitally coded beam profile control), 통합 냉각수 모델 (coolant model) 및 안전 시스템 (safety system) 을 포함한 고급 기능은 모든 정밀 에칭 또는 애싱 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.