판매용 중고 TEGAL 901e #9217066

TEGAL 901e는 소프트 엑스레이 (Soft X-Ray) 기술을 사용하여 다른 패턴 기술보다 해상도가 더 높은 재료를 형성하고 처리하는 에처/애셔입니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 활기찬 X-Ray 광자의 프로그래밍 가능한 빔을 사용하여 재료 레이어를 정확하게 식각하고 깨끗하고 부드러운 가장자리와 뛰어난 디테일로 원하는 패턴과 모양을 만듭니다. 901e는 다른 시스템에 비해 상대적으로 저렴한 비용으로 1.5nm 크기의 매우 정밀하고 빠른 재료 패턴을 제공합니다. 반도체 전자 및 MEMS 시장에서 R&D 및 생산 응용 모두를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 벌크 및 표면 에칭, 패턴 정의 증착 및 제거, RIE (Reactive Ion Etching), MEMS 및 기타 고급 고해상도 프로세스와 같은 다양한 프로세스를 가능하게합니다. 901 E는 Soft X-Ray 및 광학 시스템 구성 요소를 단일 턴키 장치로 통합 할 때 독특합니다. 이 통합은 etcher/asher에게 시장의 다른 기계와는 달리 잘 둥근 기능 세트를 제공합니다. 이 도구는 안전한 24/7 작동을 위해 설계되었으며, 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스로, 일상적인 프로세스 품질을 높이고 반복 가능한 결과를 세밀하게 조정할 수 있습니다. TEGAL 901e는 하이엔드, 단일 피스 단색 장치 장착 X-Ray 소스 및 다중 축 전자 빔 공조 광학을 기반으로하며, 빔을 대상 기판으로 연결합니다. 또한 용량, 초점, 에치 레이트 등을 포함한 다양한 매개 변수를 제공합니다. 닫힌 루프 디지털 피드백 (closed-loop digital feedback) 루프 모니터는 일관된 결과를 얻기 위해 진행 상황을 파악하고, 환경 제어 기능의 배열을 통해 자산이 안전하고 효율적으로 수행되도록 합니다. TEGAL 901 E는 알루미늄 및 실리콘 산화물 에칭 화학 물질과 호환됩니다. 901e 는 높은 수준의 자동화 기능을 제공하여 효율성과 처리량을 높이고 비용 및 다운타임을 최소화합니다 (영문). 통합된 레시피 관리 (recipe-management) 기능을 통해 복잡성과 설정 시간을 단축하고 자동화된 결함 관리 기능을 통해 프로세스 성능 및 수율 증가를 지속적으로 보장할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 모델은 여러 위치에서 원격 모니터링 및 제어를 지원합니다. 전체적으로 901 E는 R&D, 프로토 타입 및 생산 요구에 이상적인 에처/애셔입니다. 통합 소프트 엑스레이 (Soft X-Ray) 장비, 사용자 친화적 인터페이스, 고해상도 (high-precision) 결과를 통해 광범위한 어플리케이션을 위한 안정적이고 경제적인 선택이 가능합니다.