판매용 중고 TEGAL 901e #9191347

TEGAL 901e는 실리콘 웨이퍼 및 관련 반도체 부품 생산을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 에치 레이트 (etch rate), 온도 (temperature), 압력 (pressure) 과 같은 프로세스 매개변수를 조절하여 일관되고 최적의 성능을 제공하는 고급의 정밀한 닫힌 루프 제어 장비로 구동됩니다. TEGAL 901 E (TEGAL 901 E) 는 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 특별히 설계된 수많은 컨트롤 및 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 매우 정밀한 자동 속도 제어 시스템 및 정밀한 압력 제어 장치 (closed-loop pressure control unit) 가 포함되어 있어 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 통합 쿨다운 머신 (cool-down machine) 이 포함되어 있어 챔버와 재료가 효율적으로 식어 개선된 정확도와 더 높은 수율을 제공 할 수 있습니다. 901e는 유연하고 사용자 친화적인 터치스크린 (touch-screen) 인터페이스로 구동되며, 작동이 쉽고 모든 프로세스 제어 및 모니터링 기능에 대한 단계별 지침을 제공합니다. 이 장치는 또한 최대 10 개의 레시피를 저장 및 적재 할 수 있으며, 설치 시간을 최소화하면서 다양한 와퍼 (wafer) 및 컴포넌트 설계 (component design) 를 빠르고 정확하게 생성하는 데 이상적입니다. 901 E는 위험한 온도, 내부 압력, 누출에 대한 모니터링, 경고 시스템 등 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 에처 (etcher) 는 가변 온도 및 압력 설정, 가스 및 증기 제어에 대한 강력한 아르곤 세척 (argon wash) 을 통해 최적의 프로세스 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 TEGAL 901e에는 작업 환경을 깨끗하고 안전하게 유지하는 내장 입자 수집 도구가 있습니다. TEGAL 901 E는 실리콘 웨이퍼 및 관련 구성 요소 생산을 위해 특별히 설계된 안정적이고 고급 etcher/asher입니다. 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어, 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스, 고급 안전 기능을 갖추고 있어 안정적이고 정확한 에칭, 애싱, 웨이퍼 생산에 이상적인 툴입니다.