판매용 중고 TEGAL 901e #9181762

TEGAL 901e는 사진 촬영 및 박막 예금 기술에 사용되는 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 최신 진공 및 반응 챔버 설계를 사용하여 매우 안정적이고, 반복 가능하며, 정확합니다. TEGAL 901 E는 또한 미드레벨 단위의 탁월한 비용 효율성을 제공합니다. 901e의 반응 챔버는 직경이 24 "이며 최상위 로딩 웨이퍼 홀더를 사용합니다. 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 와 반응 용기는 모두 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 기계의 뛰어난 열 안정성을 제공합니다. 이 도구는 또한 인상적인 온도 조절 (temperent control), 열전대 설정 점 (thermocouple setpoint) 및 하위 주변 환기 기능으로 광범위한 공정 온도를 허용합니다. 자산은 이중 소스 설계 (Dual Source Design) 를 사용하여 동일한 챔버에서 두 소스를 모두 로드 및 언로드하여 처리량 (Throughput) 과 효율성 (Efficiency) 을 제공합니다. 처리 중 최소한의 간섭으로 소스를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 901 E는 또한 금속-산화물 증발 속도를 정확하게 제어하여 필름 특성을 정확하게 예측할 수 있습니다. TEGAL 901e는 photolithography, metal-oxide evaporation, thin-film deposition, film etching 및 photoresist stripping을 포함한 프로세스에 대한 뛰어난 플랫폼입니다. 다양한 애플리케이션에 적합한 견고하고 신뢰할 수 있는 모델로, 미드레인지 (mid-level) 시스템에 매우 경제적입니다. 이 제품은 신뢰성이 높고, 반복 가능한 프로세스 사이클, 우수한 온도 조절, 유지 보수 비용이 낮으며, 운영 비용이 적어 대용량 운영 환경에 적합합니다.