판매용 중고 TEGAL 901e #9072033

TEGAL 901e는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 최첨단 Asher/Etcher입니다. 이 장비는 자동 (automated) 작동을 통해 다양한 크기와 재료의 웨이퍼를 빠르고 정확하게 에치 (etch) 하고 애셔 (asher) 할 수 있습니다. TEGAL 901 E는 HFI (High Frequency Induction) 기술을 사용하여 광범위한 애싱 요구 사항에 대한 고품질 에치 레이트 및 양면 화학 애셔 기능을 제공합니다. 이 시스템은 에치 및 애셔 요구 사항 모두에 대해 10nm의 정확도도 제공합니다. 901e의 강력한 성능은 고급 웨이퍼 처리 장치 (고급 웨이퍼 처리 장치) 에서 비롯된 것으로, 자동화된 툴 헤드와 통합 가스 배급기 (integrated gas distributor machine) 가 장착 된 고급 프로세스 챔버가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 레이저로 매우 정확한 패턴을 생성할 수 있으며, 최고 수준의 반복 가능성, 정확도, 처리량을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 효율적이고 반복 가능한 진공 압력 설정 및 시퀀스를 가능하게 하는 고급 진공 자산을 사용합니다. 901 E에는 고급 제어 소프트웨어 패키지가 있어 모든 프로세스 매개변수 (수동 또는 자동) 를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 이 모델에는 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 에치 (Etch) 하고 애셔 (asher) 할 수 있도록 자동화된 웨이퍼 처리 기능이 있어, 빠르고 효율적인 대용량 생산이 가능합니다. 고정밀도, 닫힌 루프 웨이퍼 정렬 장비가 통합되어 있어 정밀한 정렬 정확성이 보장됩니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 고급 재료와 부품으로 구성되어 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 이 시스템은 사용이 간편한 소프트웨어 인터페이스와 첨단 기계적/전기적 안전 시스템 (mechanical/electrical safety system) 을 통해 사용자 친화적이고 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 결론적으로, TEGAL 901 E는 광범위한 반도체 제조 요구 사항에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 만들 수있는 고도의 고급 Asher/Etcher입니다. 고급 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Processing Unit), 클로즈드 루프 웨이퍼 정렬 장치 (Closed-Loop Wafer Alignment Machine) 및 자동화된 웨이퍼 처리 기능을 갖춘 이 도구는 다양한 반도체 애플리케이션의 높은 처리량 및 정확도 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.