판매용 중고 TEGAL 901e #9071867

제조사
TEGAL
모델
901e
ID: 9071867
In-Line Single Wafer Plasma Etcher, 4" - 6" Cassette to cassette Currently configured for 6" wafers Super Spatula transport Generator: ENI ACG-10B Monitor: Dec VT 520 MFC's: UNIT 8100 Atmospheric sensor for venting Temperature controller: choice of Neslab or Tek-Temp Dry pump: Edwards QDP40 208V, 3 phase.
TEGAL 901e는 반도체 산업에서 널리 사용되는 최첨단 에처/애셔입니다. 시중에서 가장 다양하고 강력한 애셔 (asher) 중 하나이며, 에칭부터 애싱 (ashing) 까지 광범위한 작업을 수행 할 수 있습니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 안정적이고 비용 효율적이며, 다양한 어플리케이션에 적합한 솔루션이 되는 기능을 갖추고 있습니다. 901e (901e) 는 모든 유형의 에칭 및 애싱 (ashing) 에 적합한 옵션을 제공합니다. 그것 은 "아르곤 '과 산소 를 포함 하여 매우 다양 한" 가스' 를 공급 하며, 여러 가지 "에칭 '과" 애싱' 작용 에 이상적 인 온도 를 제공 한다. 901 E는 또한 고효율의 전원 공급 장치 (power supply) 와 펌프 (pump) 를 갖추고 있으며, 작업 영역 전체에서 가스와 온도의 꾸준한 흐름을 제공합니다. 또한 TEGAL 901e에는 온도, 가스, 압력 센서, 입자 농도 필터 등 다양한 안전 기능이 있습니다. TEGAL 901 E는 스핀 에칭, 화학 기계 연마, 화학 에칭, 화학 기계 연마 등 다양한 에칭 및 애싱 기술이 가능합니다. 901e 또한 습식 에칭 프로세스 (wet etching process) 가 가능하며, 편의를 위해 습식 벤치와 통합 될 수 있습니다. 효율적인 에칭 및 애싱 작업을 용이하게하기 위해 901 E는 사용자에게 친숙한 PC 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 온도, 압력 (pressure) 및 실시간으로 사용자정의하고 업데이트할 수 있는 기타 매개변수의 실시간 그래프를 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 또한 다양한 레시피 (레시피) 와 진단 프로그램 (진단 프로그램) 을 제공하여 빠른 프로토 타이핑 및 제품 테스트를 위한 레시피 업로드 기능을 제공합니다. 최고 품질의 작업과 정확성을 보장하기 위해 TEGAL 901 E (TEGAL 901 E) 에는 대형 계단식 작업 공간이 장착되어 있어 샘플 재료를 쉽게 이동할 수 있습니다. 901e는 또한 가스 탐지기 (gas detector) 와 비상 공기 탈출 (emergency air escape) 과 같은 다양한 안전 기능을 통해 운영자와 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 모두 보호합니다. 901 E는 모든 유형의 반도체 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업뿐만 아니라 다른 일반적인 응용 분야에 이상적인 에처 및 애셔입니다. 사용자 친화적 인 PC 제어 시스템뿐만 아니라 효율적이고 정교한 설계로 인해 TEGAL 901e는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 위한 최고의 선택이 됩니다.
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