판매용 중고 TEGAL 901e #9004063

TEGAL 901e는 고 수율 제품의 고속 생산 처리량을 유지하도록 설계된 배치 형 플라즈마 에칭/데스 머링 (Desmearing) 장비입니다. 저압 및 고압 정권에서 작동 할 수 있으며, 광범위한 재료 (금속, 플라스틱 및 도자기 포함) 를 에칭, 안정화 및/또는 탈피하기위한 다양한 공정 옵션을 제공합니다. TEGAL 901 E는 에칭/데스 머링 시스템의 주요 생산 업체 인 TEGAL의 프리미엄 에처로 간주됩니다. 국제 품질 표준 (International Quality Standard) 에 따라 제조되며 고품질 컴포넌트를 사용합니다. 시스템은 두 개의 챔버로 구성됩니다. 하나의 활성 및 하나의 수동. 이 2 챔버 구조는 최대 에칭 효율성을 보장하며, 더 높은 챔버 압력 하에서 생성 될 수있는 유해한 부산물을 제거합니다. 901e에는 액티브 (Active) 및 패시브 (Passive) 전원 공급 기능과 함께 산업용 전원 공급 장치가 장착되어 있어 안정적이고 반복 가능한 작동이 가능합니다. 통합 마이크로 프로세서는 +/- 0.5 Torr 내에서 압력을 유지하고 플라즈마 소스 압력 및 바이어스를 제어할 수 있습니다. 비활성 가스 장치는 산화를 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 901 E는 최대 안전을 위해 설계되었습니다. 압력 센서, 챔버 인터록 스위치, 비상 정지 스위치, fail-safe 컨트롤러가 장착되어 있어 위험 프로세스를 모니터링하고 필요한 경우 중지합니다. 또한, 기계는 내장 된 접지 도구와 유해한 가스와 입자로부터 인원을 보호하는 내부 챔버 우회 필터 (inner-chamber bypass filter) 를 사용하여 운영자의 안전을 보장합니다. 내장, 사용하기 쉬운 터치스크린 콘솔을 통해 사용자는 매개변수 설정에 액세스하고 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 프로세스의 중요한 측면을 쉽게 모니터링하고 필요한 조정을 수행할 수 있습니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 프로세스를 자동으로 작동시켜 운영 및 유지 보수가 용이하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. TEGAL 901 E는 높은 생산성, 반복 가능한 결과 및 안정적인 안전 기능을 제공하는 프리미엄 에칭/디머링 자산입니다. 고급 (Advanced) 설계를 통해 광범위한 재료와 프로세스에 적합하며, 직관적인 사용자 인터페이스로 운영 (Operation) 이 쉽고 편리합니다.