판매용 중고 TEGAL 901e #70083

TEGAL 901e는 최신 마이크로 제조 공정을 위해 설계된 최고급 플라즈마 에치 및 애셔 장비입니다. 이 반자동 (semi-automated) 시스템은 다양한 응용 분야에 적합한 새로운 디자인을 갖추고 있으며, 이는 연구원, 엔지니어, 산업 프로세스 개발자에게 이상적인 선택입니다. TEGAL 901 E는 수동 에칭 및 애싱 기술 (예: 빠른 플라즈마 에칭 속도, 탁월한 프로세스 제어, 정밀 비율 선형 에치 깊이 제어) 에 비해 많은 이점을 자랑합니다. 901e의 큰 10 "x 8" 작업 영역을 사용하면 처리량이 높고 기판 크기의 빠른 처리가 가능합니다. 강력한 RF 생성기 장치를 사용하면 제공된 전원을 정확하게 제어할 수 있습니다. 기체 흐름, 압력, 챔버 온도 및 기타 변수와 같은 프로세스 매개변수를 변경하여 다양한 에치 레시피 (etch recipe) 를 조정할 수 있으며, 미세 조정 (fine tune) 매개변수 설정과 반복 가능한 고정밀 결과를 얻을 수 있습니다. 독특한 챔버 (chamber) 설계는 공정 효율을 극대화하고 오염을 최소화하여 입자 수가 매우 적고 균일성을 최적화하기 위해 조정되었습니다. 901 E는 또한 방향성 및 이방성 에칭/애싱 (etching/ashing), 높은 종횡비 구조, 다른 재료에 대한 향상된 선택성 등 고급 에칭 및 애싱 기능에 대한 액세스를 제공합니다. 이 기계는 에치 깊이와 너비를 정확하게 제어하기 위해 설계되었으며, 연구자들은 에치 실험, 프로세스 특성 및 개발을 수행 할 수 있습니다. TEGAL 901e에는 터치 스크린 조작이 포함되어 있어, 직관적인 사용자 제어가 가능하며, 간단한 레시피 생성, Etch Rate 모니터링 및 프로세스 분석이 가능합니다. 보다 복잡한 애플리케이션을 위해, TEGAL 901 E 는 포괄적인 온보드 데이터 시스템 세트를 갖추고 있으며, 사용자에게 상세한 프로세스 피드백을 제공합니다. 이 도구의 인체 공학적 설계를 통해 손쉬운 청소, 일상적인 유지 보수, 생산 시간 연장이 가능합니다. 결론적으로, 901e는 신뢰할 수 있고, 능력이 높은 플라즈마 에치 (etch) 와 애셔 에셋 (asher asset) 을 찾는 사람들에게 훌륭한 선택입니다. 이 제품은 일관성 있고 안정적인 성능을 보장하기 위해 최고 수준의 정밀도 (precision) 와 세부적인 (detail) 으로 구성됩니다. 901 E는 탁월한 처리량, 정확성 및 제어 기능을 제공하여, 마이크로패브라이션 프로세스에 이상적인 선택입니다.