판매용 중고 TEGAL 901e #70082

테갈 901e (TEGAL 901e) 는 마이크로 일렉트로닉스, 의료 기기 제조, 생명 과학 및 나노 기술과 같은 광범위한 산업에서 사용되도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. "마이크로 '와" 나노' 장치 와 회로 를 제조 할 수 있도록 높은 처리량 과 정확 한 "에칭 '을 위한 광범위 한 기능 을 제공 한다. TEGAL 901 E는 정밀하고 높은 처리량을 제공하는 고급 전자 빔 리소그래피 기술을 기반으로합니다. 초미세 에칭 (ultra-fine etching) 을 통해 다양한 기판과 재료에 복잡한 패턴과 특징을 만들 수 있습니다. 이 장비에는 기질의 정밀한 정렬을위한 동력 단계 (motorized stage) 와 광학 현미경 (optical microscope) 과 기판 위치 및 에치 깊이를위한 진공 척 시스템 (vacuum chucking system) 이 제공됩니다. 이를 통해 장치는 1 분 패턴을 나노 미터 수준으로 가져올 수 있습니다. 901e는 0-30KV 범위의 가속 전압에서 100PA/V에서 10,000PA/V 사이의 광범위한 빔 전류를 생성 할 수있는 갈륨 비소 이드 전자 건을 사용합니다. 이렇게 하면, 현대 "마이크로 '와" 나노' 장치 의 제작 에 필요 한 미세 한 선 폭 과 다른 복잡 한 특징 들 을 만들 수 있다. 이 장치는 또한 빔 밝기 (beam brightness) 와 초점 (focus) 을 조정하고 정렬 및 패턴화를 위한 통합 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 또한 대부분의 표준 프로세스 챔버 (process chamber) 와 완벽하게 호환되며 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 기계 에는 12 "웨이퍼 - 캐리어" 플레이트 '가 장착 되어 있으며 직경 이 최대 8 "와퍼' 까지 처리 할 수 있다. 901 E에는 인력과 도구의 안전을 보장하는 다양한 안전 보호 메커니즘 (예: 연동 자산, 할로겐 램프 경고 모델, E-Stop 스위치, 멀티플렉싱 스위치, 안전 기능을 갖춘 수냉식 회로) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 TEGAL 901e는 강력하고 다재다능한 etcher/asher로, 현대 마이크로 및 나노 장치 제작 응용 분야에 적합합니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface), 다양한 안전 (Safety) 기능, 복잡한 디바이스 제작을 위한 정밀/처리량 기능을 통해 손쉽게 처리할 수 있습니다.