판매용 중고 TEGAL 901e #70079

TEGAL 901e etcher/asher는 매우 뛰어난 정확도로 고정밀도, 대용량 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행 할 수있는 고급 봇입니다. TEGAL 901 E는 사용자 정의 가능한 higgins 속도 etcher/asher이며, 특히 반도체 산업의 다양한 고급 응용 분야에 적합합니다. 901e (901e) 는 매우 고급적인 화학 전달 시스템으로, 매번 화학물질의 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. 이렇게 하면 모든 기판 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스가 정의된 사양 내에서 빠르고 정확하게 수행됩니다. 901 E에는 고급 스테이지 시스템 (Advanced Stage System) 도 포함되어 있어 더 나은 처리량을 위해 웨이퍼를 자동으로 배치합니다. 또한, 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 해상도와 정의를 정확하게 제어할 수 있으므로 사용자가 기판을 최대한 활용할 수 있으므로 가장 정확한 프로세스와 결과를 얻을 수 있습니다. TEGAL 901e (TEGAL 901e) 는 완전 통합형 소프트웨어 플랫폼 (Software Platform) 을 기반으로 구축되어 있어 기존 프로세스에 간편하게 통합할 수 있으며, 복잡한 에칭 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 통해 정확한 사양을 구현할 수 있습니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 매개변수를 자동으로 제어하여 처리가 허치 없이 진행되도록 할 수 있습니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 의 가장 유익한 기능 중 하나는 광범위한 재료 두께로 에치 앤 애쉬 (etch and ashe) 능력입니다. 이것은 독특한 멀티 스테이지 에칭 (multi-stage etching) 옵션을 통해 달성됩니다. 여기서 에칭은 웨이퍼 두께에서 발생할 수 있으며, 사용자가 기판을 최대한 활용할 수 있습니다. 사용자는 또한 다양한 고급 프로세스 옵션 (advanced process options) 및 사용자 정의 도구 (customization tools) 를 액세스할 수 있으므로 에칭 및 어싱 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 901e에는 프로세스 단계, 프로세스 매개변수 추적 (Track Process Parameter), 에칭 및 애싱 프로세스 결과 (Etching and Ashing Process) 를 모니터링할 수 있는 다양한 센서가 있습니다. 전반적으로 901 E etcher/asher는 다양한 반도체 응용 분야에 적합한, 고급적이고, 강력하고, 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 봇입니다. 첨단 화학 물질 과 "스테이지 '" 시스템', 정확 한 공정 조절, 그리고 그 폭 넓은 "에칭 '과" 애싱' 옵션 을 이용 하여 그 들 의 기질 과 공정 을 최대한 활용 할 수 있다.