판매용 중고 TEGAL 901e #293811529

TEGAL 901e는 웨이퍼의 정밀 에칭 및/또는 재싱을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. TEGAL Proven 900 Series 아키텍처를 기반으로 하여 새로운 재료, 혁신적인 엔지니어링 및 최첨단 기술을 통합 한 TEGAL 901 E는 다양한 장치 구조의 높은 수율 생산이 가능합니다. 901e 는 더욱 간편한 유지 관리 및 업그레이드를 위한 모듈식 아키텍처를 갖도록 설계되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 장비는 최고 품질의 재료로 구성되어 향상된 성능과 내구성을 보장합니다. 이 시스템은 다중 진공 챔버 설계, 개선 된 가스 차폐 및 저압 저온 (LP/LT) 에칭 프로세스를 포함한 최신 에칭 및 클리닝 기술을 갖추고 있습니다. 150mm 웨이퍼를 처리하는 기능은 웨이퍼 간의 정리를 줄이고 처리량을 증가시킬 수 있으므로 901 E의 효율성을 높입니다. TEGAL 901e 또한 통합 온도 제어 장치 (integrated temperature control unit) 를 편리하게 갖추고 있으며, etch 챔버에서 일관된 온도 환경을 제공합니다. 이것은 식각 균일성과 오염 예방을 향상시킵니다. 이 기계는 또한 자동 모니터링 (monitoring) 및 제어 도구 (control tool) 를 갖추고 있어 운영자가 프로세스 상태를 추적하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. TEGAL 901 E는 장치를 정확하게, 고품질 에칭 및 청소하도록 특별히 설계되었습니다. 901e에는 자동화된 프로세스 튜닝, 프로세스 에뮬레이션 (process emulation), 진단 (diagnostics) 기능 등 다양한 프로세스 최적화 툴이 포함되어 있어 디바이스의 정확성과 품질을 더욱 향상시킵니다. 또한, 이 자산은 직관적인 사용자 친화적 소프트웨어 제품군을 자랑하여 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 이 소프트웨어는 운영자가 깨끗하고 통제된 환경 내에서 프로세스를 스케줄링, 모니터링, 관리할 수 있도록 지원합니다. 최적의 품질 관리, 유연한 프로세스 스케줄링, 다운타임 최소화를 보장하도록 설계되었습니다. 901 E는 고급 반도체 장치 생산에서 선도적 인 에처/애셔입니다. 프로세스 설정 (Process Settings) 및 자동화된 모니터링 (Monitoration) 및 제어 모델의 편의성을 조정할 수 있는 유연성과 함께 빠르고 정밀한 에칭 및 클리닝 기능을 제공하도록 설계되었습니다. TEGAL 901e는 다양한 산업에서 반도체 생산에 이상적인 선택입니다.