판매용 중고 TEGAL 901e #293723711

TEGAL 901e는 고급 단일 웨이퍼 유전체 및 Asher를위한 플랫폼입니다. 이 장비는 200mm 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며 습하고 건조한 공정을 모두 지원하도록 제작되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 수평 및 수직 구성에서 빠르고 정확한 에칭 프로세스 제어 및 온도 균일성을 가능하게 하는 모듈식 시스템입니다. 이 장치는 내장된 지능형 프로세스 제어 (Intelligent Processes Control) 기술을 자랑하여 디버깅이 쉽고 응답 시간이 빠릅니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 에처로서 이전 모델과 동일한 원칙을 바탕으로 더 높은 처리량과 더 큰 프로세스 제어를 제공합니다. 에처 (etcher) 는 또한 최대 +/- 0.005 um의 정확도로 높은 종횡비 (aspect ratio etch) 를 생성 할 수 있으며 웨이퍼 상단에 대한 손상을 최소화합니다. 재로서, 901e는 마이크로 입자와 입자를 최소화하기 위해 고급 플라즈마 화학 제어를 제공한다. 또한, 이 기계는 강화 된 빔 제어 (beam control) 기술을 사용하여 웨이퍼 전체 표면에 균일 한 에칭을 제공합니다. 이 도구는 또한 입자를 효과적으로 포착하고 오염을 최소화하는 지속 가능한 침수 필터 에셋을 특징으로합니다. 901 E에는 전용 사이드월 보호 샤워 (sidwall protection shower) 와 안전하고 안정적인 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능한 가열 된 샤워 플레이트가 있습니다. 또한이 모델에는 웨이퍼 실행 중에 현장 SEG 측정이 가능한 FX-Solid 포트가 포함되어 있습니다. TEGAL 901e에는 혁신적인 터치 스크린 인터페이스 (TEGAL 901e) 가 장착되어 있어 사용자가 쉽고 빠르게 프로세스를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장비는 또한 포스트 프로세싱 (post processing) 추적 기능과 효율적인 프로세스 모니터링 및 CD 반복 기능을 제공하는 통합 미디어 관리 시스템을 제공합니다. 정확한 화학 제어를 위해, 이 장치에는 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 유지하는 정교한 자동화 회로 (automation circuit) 가 있습니다. 또한 TEGAL 901 E 의 데이터 통신 프로토콜은 외부 장치 및 업계 표준 소프트웨어와 쉽게 통합 할 수 있습니다. 901e 는 가장 높은 안전 기준을 충족하기 위해 제작되었으며, 이는 생산 환경에 이상적인 선택입니다. 이 기계의 견고한 구축은 안정적이고 안전한 작동을 보장하며, 고급 웨이퍼 프로세싱을위한 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 솔루션입니다.