판매용 중고 TEGAL 901e #293654398

TEGAL 901e는 에칭 및 애싱 프로세스를 모두 수행 할 수있는 반응성 이온 에처입니다. 이 제품은 평면 패널 디스플레이, 직관적인 사용자 인터페이스, 대용량 (High-Capacity) 처리량을 갖춘 최첨단 반도체 프로세스 툴입니다. 고급 플라즈마 에칭 기술을 사용하여 TEGAL 901 E는 포토 esist 및 기타 재료의 정확하고 일관된 에칭 및 애싱을 제공합니다. 901e etcher/asher에는 3 개의 챔버 (이중 에칭 챔버 및 단일 애셔 챔버) 가 있습니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 는 재료를 에치하는 데 사용되며, 애셔 챔버 (asher chamber) 는 표면에서 잔기와 잔해를 제거하는 데 사용됩니다. 이 제품은 직류 전원 공급 장치로 구동되며, 고성능, 완전 컴퓨터 제어, 마이크로컨트롤러 기반 장비를 갖추고 있습니다. 901 E는 고진공 시스템을 사용하여 뛰어난 작동 단순성, 정확한 프로세스 제어 및 오염이없는 웨이퍼를 제공합니다. TEGAL 901e etcher/asher에는 에칭 및 어싱 설정과 조정을 모두 할 수있는 고정밀 풀 컬러 LCD 터치 스크린 디스플레이가 포함되어 있습니다. 매개변수는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 모두에 대해 조정할 수 있으며 속도, 온도, 압력 및 가스 조성을 포함합니다. 모든 매개 변수와 설정을 구성, 저장할 수 있으므로, 빠른 설정과 손쉬운 작업을 수행할 수 있습니다. 에칭 프로세스를 위해, TEGAL 901 E는 2 개의 내부 불균형 마그네트론 스퍼터 소스를 특징으로하며, 웨이퍼에 재료의 균일 한 증착을 제공한다. 애싱 공정을 위해, 차가운 플라즈마 애셔와 핫 플라즈마 애셔를 모두 사용하는 2 개의 로드 잠금 애셔 챔버 (load-locked asher chamber) 가 제공됩니다. 901e의 RF 전원 공급 장치 (power supply) 는 완전한 컴퓨터 제어 장치를 갖추고 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 901 E etcher/asher에는 통합 제어기가 장착되어 있어 한 번에 최대 16 개의 웨이퍼를 제어 할 수 있습니다. 웨이퍼는 단일 벨트 (belt) 에 수용되어 여러 웨이퍼의 배치 처리를 허용합니다. TEGAL 901e에는 빠른 샘플 로드/검색 도구가 장착되어 있어 높은 생산성과 처리량을 제공합니다. TEGAL 901 E etcher/asher는 모든 생산 환경에 효율적이고 정확하며 비용 효율적인 에칭 및 애싱 솔루션입니다.