판매용 중고 TEGAL 901e #293652770

TEGAL 901e는 고정밀 어플리케이션을 위해 설계된 강력한 에처/애셔입니다. 금속, 합금, 플라스틱, 도자기, 반도체 재료 등 다양한 재료에 복잡한 패턴, 마이크로 에칭 및 깊은 구조를 만드는 데 사용됩니다. TEGAL 901 E는 이중 빔, 이중 주파수 및 이중 펄스 변조를 특징으로하여 결과의 정확성과 재현성을 손상시키지 않습니다. 선택 가능한 압력 범위가 50 ~ 250 밀리바인 독특한 플 런거리스 (plungerless) 자체 조립 반응 챔버를 사용합니다. 이 장비는 온도 조절 환경으로 만들어졌으며, 고진공 환경에서 공정 관련 온도 (최대 2500 ° C) 에 도달 할 수 있으므로 고정밀 플라즈마 에칭이 가능합니다. 901e에는 고해상도 X-Y 스캐너 (X-Y scanner) 와 사용자 선택 가능한 Z축 전동 변위 제어가 장착되어 있어 에칭 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 고속 에칭 속도를 특징으로하여 1 시간 안에 15,000 개 이상의 에칭을 만들 수 있습니다. 901 E는 유연성을 제공하도록 설계되었으며, 사용자는 습식 에칭, 건식 에칭, 반응성 이온 에칭, 깊은 반응성 이온 에칭, 각 에치 유형마다 다른 화학 물질 등 여러 가지 에치 유형을 선택할 수 있습니다. 이 장치는 또한 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 쉽게 레시피를 편집하고 원격 인터페이스에서 시스템을 제어 할 수 있습니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 집적 회로의 게이트 레이어를 통한 반응성 이온 에칭, 의료 임플란트를위한 복잡한 패턴 생성, 디스플레이 및 조명 설비에 대한 매우 상세한 이미지 생성 등 다양한 에칭 애플리케이션에 이상적입니다. 또한 표면 처리 및 마이크로 에칭 (예: 매우 복잡한 나노-구조 제작을위한 이방성 에칭) 에도 사용됩니다. 전체적으로, TEGAL 901 E는 정확성과 반복 성을 제공하여, 더 뛰어난 정확도를 유지하면서 복잡한 디자인을 쉽고 빠르게 식각 할 수 있습니다. 다용도 디자인과 사용이 간편한 사용자 인터페이스를 통해 901e 는 강력하고 정확한 에처 (etcher) 를 원하는 연구자와 제조업체에 적합한 선택입니다.