판매용 중고 TEGAL 901e #293635731

테갈 901e (TEGAL 901e) 는 작은 피쳐나 좁은 형상으로 매우 정밀한 패턴과 패턴을 생성하도록 설계된 고급 에처입니다. 시중에서 가장 안정적이고, 효과적이며, 효율적인 에처 중 하나입니다. 이 시스템은 PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 및 기타 기술을 사용하여 재료를 증발시키고 템플릿을 사용하여 나노 스케일 (Nanoscale) 까지 크기에 따라 미세하고 정의 된 피쳐를 생성 할 수있는 기능을 생성합니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 업계 표준 플랫폼을 기반으로 구축되었으며, 최소한의 유지 보수가 필요하면서도 깨끗하고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 이 장치에는 직경이 최대 500mm 인 내장 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 내장된 자가 포지셔닝 작업 테이블 (self-positioning work table) 이 있어 다양한 기판 및 재료를 수용할 수 있습니다. 기판은 통제 된 대기에서 처리되어 안정적이고 반복 가능한 처리를 보장합니다. 901e는 완전하게 자동화되었으며, 터치 스크린 사용자 인터페이스 (touch screen user interface) 를 통해 증가분 튜닝을 위한 레시피를 선택할 수 있습니다. 레시피는 추후 참조를 위해 메모리에 저장되며, 한 응용 프로그램 (application) 에서 다른 응용 프로그램 (application) 으로 패턴화를 신속하게 변경할 수 있습니다. 이 시스템은 다중 방출 이온 소스 (multi-emittance ion source) 를 사용하여 여러 에너지의 이온을 다른 각도로 방출하여 재료가 정확하게 패턴화되도록 합니다. 진공 시스템은 최첨단이며 수명이 길고 정밀도가 높은 에칭이 가능합니다. 901 E는 여러 수준의 에칭 (etching) 으로 정밀 패턴화를 수행하도록 설계되어 반도체 소자 생산과 같은 응용 분야에 적합합니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 신뢰성이 높고 강력한 에처로, 다층 및 도전적인 고급 장치 구성 설정에서 놀라운 제어를 제공합니다. 지능형 기능 (Intelligent Features) 과 최고급 성능 (Top-notch performance) 을 통해 전문적인 설정 및 고급 재료 연구 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는 성능과 효율적인 운영을 통해 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.