판매용 중고 TEGAL 901e #293618054

테갈 901e (TEGAL 901e) 는 에처/애셔 (etcher/asher) 로 기판의 에칭 및 재싱에 사용되는 장치 유형입니다. TEGAL 901 E는 직경이 최대 8 인치 인 기질에서 에치 및 애쉬 연산을 수행 할 수 있습니다. 901e는 인체 공학적이고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 자체 교정 마이크로 프로세서 컨트롤러가 장착 된 읽기 쉬운 LCD 화면이 특징입니다. 이 에칭 및 애싱 머신은 또한 30 ~ 400mm H2O 범위의 공기 흐름 제어 밸브 (Airflow Control Valve) 를 특징으로하여보다 정확한 에칭 및 애싱 (Ashing) 을 위해 기압을 조정할 수 있습니다. 901 E는 "에칭 (etching) '과" 애싱 (ashing)' 부위를 감상할 수 있는 카메라가 장착된 광학 모니터링 장비를 탑재했다. 이렇게 하면 기판을 정확하게 정렬할 수 있고, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 정확한지 확인합니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 또한 기판 회전 제어로 설계되어 초당 120도 범위의 기판 속도를 선택할 수 있습니다. 이것은 다양한 레시피로 선택적으로 에칭하고 재를 만들 수있는 유연성을 제공합니다. 또한 냉각 된 서브 리프터 어셈블리를 특징으로하며, 에칭 및 애싱 프로세스 동안 기판을 He-cooled로 만들 수 있습니다. TEGAL 901 E에는 2 개의 고감도 가스 투여 시스템이 있으며 컨트롤 패널에 통합되어 있습니다. 또한 고급 공기 입자 모니터링 시스템 (airborne particle-monitoring system) 이 있으며, 이를 통해 운영자는 운영 환경의 입자 수준을 확인할 수 있습니다. 901e에는 에칭 및 애싱 프로세스를위한 어닐링 오븐 및 열 전달 제어가 있습니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 더욱 개선하기위한 통합 진공 장치와 베이크 스테이션이 있습니다. 901 E에는 긴급 정지 버튼, 저전류 모니터링 머신, UV Illuminator, UV 및 마모 위험 감지 등 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. TEGAL 901e는 고분자 필름, 호일 및 필름과 같은 민감한 기질의 에칭 및 애쉬 (ashing) 를 위해 특별히 설계되어 높은 에치 속도, 반복성 및 균일성을 달성한다. 이 에처/애셔는 포토 마스크, 액정 디스플레이, 유기 발광 다이오드 및 박막과 같은 기질의 에칭 및 애싱에 이상적입니다. 테갈 901 E (TEGAL 901 E) 는 기판에서 성공적인 에칭 및 애싱 작업을 수행 할 수있는 고급, 신뢰할 수있는 장치입니다.