판매용 중고 TEGAL 901e #293616017

TEGAL 901e는 다양한 전기 화학 및 관련 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 대규모 공구 캐치를 수용 할 수있는 멀티 챔버 디자인이 특징입니다. 4 개의 챔버 (chamber) 는 각각 독립적으로 제어되어 각 챔버의 다른 기판 및 재료를 동시에 에칭 (etching) 하고 재 (ashing) 할 수 있습니다. TEGAL 901 E에는 3 구역 온도 조절 장비가 장착되어 있으며, 공구실, 솔리드 전구체 배달실 및 에칭 챔버의 온도를 별도로 조정할 수 있습니다. 온도는 +/- 1 ° C 정확도로 조절되며, 에칭 또는 애싱 중 프로세스 매개변수를 정확하게 제어합니다. 901e에는 또한 5 가스 혼합 전달 시스템이 포함되어 있으며, 정확한 범위 내에서 산소, 염소, 아르곤, 질소 및 이산화황 수준을 조정할 수 있습니다. 강력한 901 E는 실시간 데이터 획득 장치를 사용하여 프로세스 데이터를 PC 또는 다른 컴퓨터 인터페이스로 전송합니다. 이 정보를 사용하여 프로세스를 변경하고 성능을 모니터링할 수 있습니다. TEGAL 901e는 조정 가능한 속도와 간격 매개 변수로 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 선택 가능 한 "에찬트 '유속," 레이저' 동력 및 냉각기 는 원치 않는 물질 을 효율적 으로 제거 한다. TEGAL 901 E는 또한 고속 스캐닝 기능을 갖추고 있으며, 250 µm에서 10 mm 사이의 기판 두께에 대한 에칭/애싱을 수행 할 수 있습니다. 901e에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 내장 LCD 패널이 있습니다. 여기에는 자동 압력 제어 도구, 열 차단 (thermal cut-off) 스위치 등 여러 가지 안전 기능이 포함됩니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 제어 소프트웨어를 사용하면 프로세스 레시피 (recipe) 와 프로파일 데이터 (profile data) 를 쉽게 액세스하고 저장할 수 있습니다. 901 E는 고급적이고 강력한 에칭 및 애싱 툴로, 전자 및 전기 화학 프로토 타입 및 제조에 적합합니다.