판매용 중고 TEGAL 901e #293595381

TEGAL 901e Etch/Asher Equipment는 etch/asher 기술을 기반으로 제조 및 연구 개발을 위해 설계된 다용도 병렬 처리 시스템입니다. 또한 10,062 개의 독립 프로세스 존 (zone) 을 갖추고 있어 병렬 처리 기술을 활용할 수 있습니다. 다단계, 다중 가스 접근법을 사용하여 TEGAL 901 E는 증착, 금속 에칭, 산화물 제거, 마스킹 및 선택적 에칭을 포함한 다양한 에치/애셔 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 901e는 부식에 강하고 최대 650 ° C의 온도로 가열 될 수있는 세라믹 챔버를 사용합니다. 최적의 열 성능 및 모터 제어를 위해 고급 니켈 슈퍼 합금으로 구성됩니다. 이것은 2 개의 존 (zone) 공정 챔버 디자인에 결합되어 있으며, 각 존은 가스 타이트 벨로우로 다른 존과 독립적으로 밀봉되어 있습니다. 이렇게 하면 두 영역 간에 일관된 처리 조건이 유지됩니다. 이 장치는 정교한 컴퓨터 제어 콘솔을 통해 제어됩니다. 이를 통해 기판 사전 청소, 온도 및 RF 전력 제어, 이온화 된 소스 선택, 압력 및 etch/asher 주기 시간과 같은 프로세스 매개변수의 자동 시퀀싱이 가능합니다. 901 E는 또한 휘발성 유기농 모니터, 웨이퍼핸들링 블레이드, 진공 게이지와 같은 몇 가지 추가 주변 기기 장비를 부착 할 수 있습니다. 이 Etch/Asher Machine은 Cl2, BCl3, SF6 및 NF3을 포함한 다양한 가스와 함께 사용할 수 있습니다. 이 도구는 컴퓨터 제어 콘솔 (computer controlled console) 과 다양한 주변 장치 (peripheral 조각) 를 통해 쉽게 제어되고 유지 관리됩니다. 테갈 901e (TEGAL 901e) 는 에치/애셔 (etch/asher) 응용을위한 엄청나게 강력하고 신뢰할 수있는 자산으로, 여러 공정 화학 물질에 유연성이 적용됩니다. 이 모델의 신뢰할 수있는 세라믹 챔버 난방 (ceramic chamber heating) 및 2 구역 (zone) 기능은 칩 생산, 태양 전지 제조 및 태양 광 산업 분야에 적합합니다.