판매용 중고 TEGAL 901e TTW #9248952

TEGAL 901e TTW는 작은 웨이퍼 및 기판의 에칭 및 합금을 위해 설계된 etcher/asher입니다. RTP (Rapid Thermal Processing), IAD (ion assisted deposition) 및 바이오 필름 증착, 입증 된 고수율 및 빠른 회전 시간과 같은 열 프로세스를 지원하는 단일 챔버 처리를 제공합니다. 901e TTW는 통일성을 극대화하고 누출을 최소화하기 위해 탁월한 압력 제어를 위해 독특한 배플 디자인을 갖춘 12 존, 쿼츠 튜브 퍼니스를 갖추고 있습니다. 용광로에는 최대 12 인치의 6 인치 기판을 수용 할 수있는 관대 한 공정 봉투가 있습니다. (300mm) 등가 측면 균일성. 또한 뛰어난 온도 균일성, 뛰어난 반복성 및 높은 처리량을 제공합니다. 901e에는 0.5 미크론의 컴퓨터 제어, 고정밀, 고속 x-y 위치 정밀도 및 고밀도 유전체 증착을위한 고급 TEOS (Tetraethyl Orthosilicate) 소스가 포함됩니다. 이 장비는 프로세스 자동화 및 유연성을 제공하도록 설계된 고성능 소프트웨어 (HPS) 패키지와 효율적인 기판 도량형을 위한 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 제어됩니다. 이 시스템은 또한 석영 튜브 플라즈마 (quartz tube plasma) 기술을 갖춘 통합 플라즈마 소스를 갖추고 있으며, 애싱 (ashing) 및 증착 프로세스 모두에 대한 전용 대상 필름의 빠르고 반복 가능한 플라즈마 증착을 제공합니다. 증착률이 높은 이 장치는 고성능 MEMS 및 논리 장치에 적합합니다. TEGAL 901e TTW는 빠른 응답 시간, 일관된 균일성 및 높은 처리량을 제공합니다. 혁신적인 디자인은 고급 열 관리 머신 (advanced thermal management machine) 을 사용하여 주기 시간을 최소화하고 표면 오염을 피합니다. 이 도구는 신뢰성이 높고 일관성이 있으며, 각 새로운 프로세스 레시피에서 엄격한 테스트를 거칩니다. 검증된 성공 기록 (Track Record of Success) 과 결합된 저가 운영은 901e TTW를 다양한 웨이퍼 및 기판 처리 어플리케이션에 매우 바람직한 도구로 만듭니다.