판매용 중고 TEGAL 901e /903e TTW, #12388

TEGAL 901e/903e TFW (Thin Film Wafer) etcher/asher는 고급 프로세스 제어 및 뛰어난 웨이퍼 처리량을 위해 설계된 고성능 시스템입니다. 즉, 빠른 속도와 원활하게 관리되는 생산 처리량 (production throughput) 을 통해 매우 까다로운 구조에 대한 완벽한 프로세스를 보장합니다. 이 다목적 에처/애셔 (etcher/asher) 는 에칭 전구체, 가스 및 압력 모니터와 같은 광범위한 프로세스 변수를 통합하여 유연성, 신뢰성 및 재생성 있는 드릴러를 제공합니다. TEGAL 901e/903e의 SF 1000 마이크로 프로세싱 기술은 정밀 적응성으로 제조 향상을 지원하도록 설계되었습니다. 자동 듀얼 스테이지 에처는 보다 빠르고 효과적으로 에칭 정확도, 균일성, 전체 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 반복 가능한 정밀 가장자리는 거의 완벽한 마스킹을 유지하여 기판의 손상을 줄입니다. 내장형 사이드월 (sidewall) 프로파일링 기능을 통해 직관적이고 맞춤형 프로세스 제어를 통해 원하는 에치 특성 및 결과를 얻을 수 있습니다. TEGAL 901e/903e는 사용하기 쉬운 롤아웃 기능을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 사용하면 프로그래밍 가능한 프로세스 레시피 (recipe) 와 단계를 통해 간단한 시작 및 종료를 수행할 수 있습니다. 지속적인 품질을 보장하기 위해 프로세스 추적 기능은 정확하고 편리한 단계별 추적 기능을 제공합니다. 라이브 데이터 분석을 통해 운영자는 웨이퍼 (Wafer) 특성 및 응답에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 유연성과 다재다능성을 촉진하기 위해 901e/903e는 TEGAL 공정 전구체 및 염소, 삼플루오린화 질소, 산소 농축 공기를 포함한 THP 호환 가스와 호환됩니다. TF 1440 웨이퍼 핸들러는 고급 로봇 웨이퍼 조작 기능을 제공하며 TEGAL 프로세스 방부제 (Suffix "T") 를 준수합니다. TEGAL 901e/903e TFW etcher/asher는 반 도체 산업에서 대량 생산에 적합하며, 접촉 구멍, 팬 아웃 및 금속 증착의 안정적이고 정확한 표면 청소 및 에칭을 제공합니다. 이 etcher/asher 는 탁월한 처리량을 제공할 수 있는 탁월한 제품입니다.