판매용 중고 TEGAL 901B #9262409

TEGAL 901B etcher/asher 는 고성능, 대형 듀티 (heavy duty) 장비로 다양한 대용량 어플리케이션에 뛰어난 처리 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고밀도, 대용량 기판의 에칭 (etching) 및 애쉬 (ashing) 를 위한 탁월한 성능과 우수한 결과를 제공하는 고급 기능이 장착되어 있습니다. 901B는 두꺼운 7 인치 (18cm) 쿼츠 합금 챔버 및 최대 7 x 8.5 인치 (18 x 22cm) 의 넓은 표면 영역을 처리하도록 설계된 이중 10 인치 (25cm) 합금 표면 에처를 갖춘 고급 처리 기능을 제공합니다. 또한 0.001mm (1 미크론) 의 높은 해상도를 제공하는 고해상도 필터 플러스 옵틱 디자인이 포함되어 있습니다. TEGAL 901B의 견고한 디자인은 최고 38fpm (67.3cm/s) 의 빠른 속도를 제공하며, 유명한 에치 필름 기술로 대형 기판을 처리하기에 이상적인 시스템입니다. 또한 온보드 DCT (Distributed Computing Technology) 를 통해 에칭 속도와 효율성을 극대화하고 wafer-to-die 또는 enclosure-filter 호환성을 향상시킬 수 있습니다. 901B는 고급 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 가스 플라즈마 기술로 인해 우수한 에칭 및 애싱 결과를 얻습니다. 반응성 가스 및 비 반응성 가스 모드 모두에서 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. 또한 정밀 ICR (Ion Cyclotron Resonance) 옵션 덕분에 어닐링 및 스퍼터 에칭에도 사용할 수 있습니다. TEGAL 901B에는 직관적인 사용자 인터페이스, 다중 레벨 액세스 제어, RCC (Remote Control Centre) 서버 통합 옵션 등 다양한 사용자 친화적인 기능이 포함되어 있어 성능, 품질, 안전성이 일관되게 보장됩니다. 또한 IBM 호환 PC 제어 장치 및 EDX (전자 분산 X-ray) 시각적 도량형과 함께 제공되어 에칭 및 애싱 결과의 정확성과 정확성을 보장합니다. 전반적으로, 901B는 큰 기판의 우수한 에칭, 애닝 및 어닐링 결과를 제공하는 신뢰할 수 있고 다재다능한 etcher/asher 도구입니다. 유연성과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 연계된 고급 (advanced) 기능을 통해 대용량 운영 애플리케이션뿐만 아니라 연구/개발 프로세스에도 이상적인 자산으로 활용할 수 있습니다.