판매용 중고 TEGAL 901ACS #293651580

TEGAL 901ACS는 반도체 처리 장비의 리더 인 TEGAL Corporation이 설계 및 제조 한 에처/재입니다. 901ACS는 고성능 플라즈마 에칭 및 클리닝 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 즉, 동급 최고 수준의 처리량을 자랑하며, 탁월한 정확도를 유지하면서 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 이중 챔버 설계를 통해 사용자는 동일한 챔버에서 에칭 (etching) 및 클리닝 프로세스를 모두 달성 할 수 있습니다. 테갈 901ACS (TEGAL 901ACS) 는 최첨단 가스 캐비닛과 단순화된 가스 배송 장비를 갖추고 있어, 표준화된 가스를 제공하고 유지보수를 단순화하여 비용을 절감합니다. 정밀 광학 및 자동 제어 시스템은 반복 가능하고 안정적인 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 대규모 뷰포트 (large viewport) 는 프로세스 제어, 손쉬운 유지 관리 및 전체 프로세스 보기에 방해받지 않는 챔버 뷰를 제공합니다. 901ACS의 고출력 RF 생성기는 400W, 13.56Mhz 플라즈마 소스를 생성 할 수 있습니다. 또한 다양한 프로세스 레시피 (레시피) 를 통해 유연성을 높일 수 있습니다. 또한, TEGAL 901ACS는 에치 (etch) 또는 클린 (clean) 성능에서 최고의 균일성을 제공하는 고급 이온 소스 설계를 포함합니다. 901ACS는 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었습니다. 인력, 장비, 환경을 보호하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 여기에는 전용 칠러 및 물 여과 장치, 적외선 안전 센서 및 failsafe 셧다운 머신이 포함됩니다. 요약하자면, TEGAL 901ACS는 강력한 성능, 최첨단 기술, 고급 안전 기능을 결합하여 사용자에게 안정적인 에칭 및 클리닝 경험을 제공합니다. 즉, 보다 우수한 프로세스를 수행해야 하는 사용자는 최소한의 시간 내에 선택해야 합니다. 901ACS 는 처리량, 정밀 옵틱, 고급 제어 툴을 통해 반도체 (semiconductor) 엔지니어와 기술자가 모두 찾는 결과를 제공할 수 있습니다.