판매용 중고 TEGAL 901 #9408120

테갈 901 (TEGAL 901) 은 고급 에칭 기술을 사용하여 정밀하게 맞춤형 웨이퍼를 생산하는 자동 웨이퍼 생산 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 갈륨 비소, 다이아몬드 유사 재료 등 다양한 재료에서 고해상도, 고정밀 웨이퍼 생산을 수행 할 수 있습니다. "에칭 '과정 은 열 손상 을 줄이고 처리 하는 재료 의 질 을 유지 하도록 설계 되었다. 이 장치는 가변 에치 타임 (variable etch time) 과 고급 탄성 일치 에치 레시피 (advanced elasically matched etch recipe) 를 사용하여 탁월한 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 901에는 에칭 공정에 필요한 산 증기를 분배하는 통합 가스 캐비닛 (integrated gas cabine) 이 장착되어 있습니다. 기계는 드라이 에치 (dry etch) 뿐만 아니라 다양한 습식 에치를 수행 할 수 있습니다. 습식 에치에는 선택적 에칭, 뜨거운 인 에칭 및 습식 발파가 포함됩니다. 이러한 프로세스는 뛰어난 프로세스 제어, 균일성 및 높은 수율을 제공합니다. TEGAL 901의 드라이 에치 (dry etch) 는 에치 공정의 오염 위험을 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 도구는 ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch) 프로세스를 사용하여 더 높은 온도에서 작동하여 균일성을 촉진하고 에칭 된 표면에서 더 나은 프로파일을 만듭니다. 이 자산은 또한 Micro Electrical Mechanical Systems 제품에 최적화된 고유 한 MEMS 에치 프로세스를 제공합니다. 901 은 경쟁업체보다 저렴한 비용으로 더 높은 수율 (yielding) 제품을 생산할 수 있는 에칭 (etching) 모델을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장비의 엄격한 프로세스 제어, 균일성 (unifority) 및 정밀성 (precision) 은 다양한 제품 유형에 대한 향상된 생산 품질 및 수율을 제공합니다. 통합 가스 캐비닛은 빠르고 효율적인 에칭 (etching) 프로세스를 가능하게하며, 고급 탄력적으로 일치하는 에치 레시피는 탁월한 프로세스 제어 및 수율을 제공합니다.