판매용 중고 TEGAL 901 #9250123

TEGAL 901은 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 etcher/asher입니다. 물질을 에치 (etch) 하거나 애셔 (asher) 하기 위해 최대 550 ° C의 온도를 전달할 수 있습니다. 또한, 901에는 실온과 최대 550 ° C 사이의 온도를 조절 할 수있는 통합 온도 컨트롤러가 있습니다. 이것은 고른 온도 분포를 보장하고 기질의 과도한 가열을 방지합니다. TEGAL 901에는 최적화된 에칭/애싱 성능을 위해 설계된 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 여기에는 샘플 전체의 균일 성을 보장하는 RFF (Radio Frequency Field) 폭격이 포함됩니다. 또한 901은 진공 (vacuum) 기능을 제공하여 처리 속도 향상, 더 높은 수준의 정밀도 및 제어 기능을 제공합니다. TEGAL 901은 플루오린화 수소산 및 완충 산화물 에칭 용액을 사용하여 습식 및 건식 에칭 기술의 조합을 사용합니다. 이 조합을 통해 여러 수준의 에칭 (etching) 을 달성하고 더 높은 수준의 에칭 정밀도를 달성할 수 있습니다. 또한, 901은 표면 손상을 최소화하고 에칭 효율성을 증가시키는 트리플루오린화 염소 (chlorine trifluoride) 와 같은 에칭 가스를 사용하는 건식 에칭 공정을 사용합니다. TEGAL 901에는 운영자가 피해를 입지 않도록 설계된 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 이러 한 특징 들 가운데 는 밀폐형 가공실 이 있는데, 이 약실 에는 안전 하지 않은 수준 의 압력, 온도, 가스 농도 가 감지 되면 활성화 되는 "센서 '가 장착 되어 있다. 또한 901은 온도 및 압력 차단 (pressure cutoff) 시스템으로 무장하여 안전하지 않은 조건이 감지되면 처리를 자동으로 종료합니다. 결론적으로, TEGAL 901은 반도체 제조 공정에 사용하기 위해 특별히 설계된 고품질 etcher/asher입니다. RFF 폭격, 드라이 에칭 기술 (dry eching technique) 과 같은 고급 기능은 최적의 성능을 제공하는 반면, 안전 기능은 운영자를 손상으로부터 보호합니다. 901은 정확하고 제어된 결과를 통해 재료를 에칭하기 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다.