판매용 중고 TEGAL 901 #9226737

테갈 901 (TEGAL 901) 은 고급 반도체 에칭 장비로, 뛰어난 품질을 지닌 안정적인 고정밀 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 901은 집적 회로 생산을 위해 제작되었으며, 고급 연구 실험실, 반도체 및 IC 제작 프로세스에 적합합니다. TEGAL 901은 금속 에치, 딥 에치, MEMS 에치 등을 포함하여 광범위한 에치 작업을 수행 할 수있는 단일 시스템 에칭 유닛입니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 정교한 웨이퍼 (Wafer) 처리 기술을 통해 프로세스를 최적화하고 품질 저하 없이 완벽한 결과를 얻을 수 있습니다. 901에는 6 방향 거울이있는 200mm 수직 에칭 챔버가 있습니다. 이 설계는 전체 웨이퍼에 균일 한 에칭 프로세스를 허용하며, 6 방향 미러는 보다 정밀한 에칭 (etching) 을 가능하게합니다. 또한 TEGAL 901은 멀티 타겟팅 기능으로 에칭 효율성과 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 901에는 고급 웨이퍼 처리 기능도 있습니다. 최대 200mm 웨이퍼에 대한 완전 자동 로드, 언로드, 전송 및 거부 관리 기능을 제공합니다. 따라서 지연 없이 일관되고 정밀도가 높은 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 웨이퍼 처리 장치에는 정확한 자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩을위한 멀티 포지션 진공 암 (vacuum arm) 도 포함되어 있습니다. TEGAL 901은 정교한 IC 제작을 위해 제작되었으며, 정교한 소프트웨어 및 하드웨어는 고급 웨이퍼 (wafer) 처리 옵션을 제공합니다. 소프트웨어 툴은 멀티 태스크 프로그래밍 (Multi-Task Programming) 및 모니터링 (Monitoring) 기능을 갖추고 있으며, 사용자는 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 에는 복잡한 프로세스에 대한 자동 레시피 선택 (Automatic Recipe Selection) 이 포함되어 있어 다양한 레시피 중에서 선택할 수 있으며 수동 작업 필요성이 줄어듭니다. 901은 신뢰성 있고 정확한 결과를 보장하는 탁월한 에칭 자산이며, IC 제조 및 첨단 연구/개발에 이상적입니다. 고급 디자인과 기능을 통해 사용자는 가장 정밀도가 높은 에치 (etch) 결과를 달성하고 처리량을 극대화할 수 있습니다.