판매용 중고 TEGAL 901 #9226736

테갈 901 (TEGAL 901) 은 정밀한 재료 처리를 가능하게하는 완전히 맞춤형 플랫폼을 갖춘 고급 에처/애셔입니다. 901은 시장에서 사용 가능한 가장 뜨거운 온도, 가장 높은 장기 증착률로 작동 할 수 있는 기능으로, 광범위한 재료에서 단일 레이어 (single layer) 및 다중 레이어 (multiple layer) 어셈블리를 효율적으로 보호하고 기계적으로 분리 할 수 있습니다. 이 최첨단 에처/애셔는 디지털 카메라 시스템, 안전한 오프라인 컨트롤 패널 등 최신 기술로 구동됩니다. 또한 다양한 공정 최적화 (process optimization) 옵션을 포함하여 시간, 온도, 압력 및 산소 수준을 정확하게 제어하여 섬세한 에칭 및 애싱 (ashing) 품종이 가능합니다. 테갈 901 (TEGAL 901) 은 발작 중 산소 수준을 원하는 범위로 유지하기 위해 에칭 및 압력 제어 장치에 특수한 염화수소 프리 가스를 사용한다. 901은 또한 독립 챔버 (independent chamber) 난방 시스템을 갖추고 있으며, 추가 재킷 난방이없는 다양한 온도에서 재료 스택을 자동으로 처리 할 수 있습니다. 더욱이, 이 단위는 독특한 온도 안정성 시스템 (temperature stability system) 을 특징으로하여, 넓은 물질 온도 변화에도 불구하고 온도가 안정적으로 유지되므로, 더 효율적인 에칭을 가능하게하고 과정의 변화를 방지합니다. TEGAL 901은 위의 것 외에도, 충격 및 스토리지 프로세스 동안 충격파를 제어하는 기능을 가지고 있습니다. 또한 소재 및 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 사용자 정의하기 위해 480nm 레이저 빔을 통합합니다. 또한이 장치에는 금속, 유전체 및 기타 재료의 고정밀 증착을위한 고급 이중 산화물 이온 임플란테이션 (double-oxide ion implantation) 기술이 장착되어 있습니다. 전체적으로, 901은 강력하고 다재다능한 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 시장에서 가장 높은 장기 증착률과 가장 고급적이고 정확한 재료 처리 기능을 제공합니다. 이 제품은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 이상적인 툴로서, 거의 모든 프로세스 및 재료 사양에 맞게 조정할 수 있습니다.