판매용 중고 TEGAL 901 #9113439

TEGAL 901은 TEGAL Corporation에서 개발 한 소형 고성능 에처/애셔 장비입니다. 이 asher/etcher는 균일성이 높은 기판의 고해상도 패턴을 달성하는 데 사용됩니다. 901은 정확하고 반복 가능한 결과가 필요한 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 화학 물질을 사용하여 에칭 및 애싱 공정에서 균일성을 보장합니다. 독점 프로세스 제어 알고리즘을 사용하여 정확한 프로세스 제어를 수행합니다. 이 시스템은 독점적 인 고온 소진 (burnout) 알고리즘을 사용하여 원치 않는 측면 벽 오염을 제거하는 균일 한 소진을 달성합니다. TEGAL 901은 또한 고해상도 광학 패턴 (optical patterning) 기능을 제공하여 에치 및 애싱 공정의 최고 정밀도와 정확성을 보장합니다. 901에는 전체 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 사용자를 효율적이고 효율적으로 만드는 고급 제어판이 장착되어 있습니다. 터치스크린 인터페이스를 사용하여 프로세스 중 단위 매개변수를 제어, 모니터링, 구성합니다. 이 패널은 가시성을 향상시켜, 전체 프로세스를 보다 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있도록 합니다. 또한, asher/etcher에는 프로세스 안정성과 고품질 결과를 보장하는 몇 가지 내장 안전 및 모니터링 기능이 포함되어 있습니다. TEGAL 901은 고성능 저비용 작동을 위해 설계되었습니다. 높은 처리 능력과 최소한의 유지 보수 작업을 통해 자원 활용도를 극대화할 수 있습니다. 이 기계는 뛰어난 웨이퍼 수익률을 사용하여 고품질, 반복 가능, 선명하고 균일 한 패턴을 생성합니다. 또한 알루미늄, 폴리 실리콘, 도핑 실리콘, 이산화실리콘, 산화 알루미늄, 비소 갈륨 및 SiGe 재료를 포함한 다양한 웨이퍼 구성 및 기판 재료 호환성을 제공합니다. 901은 고온 작동을 특징으로하여 고속 에칭, 애싱 및 향상된 수율 속도를 제공합니다. 또한 고급 소진 (burnout) 알고리즘을 통합하여 냉각 단계의 필요성을 제거하여 에처/애셔 (etcher/asher) 의 에너지 효율성을 높입니다. 테갈 901 (TEGAL 901) 은 효율적 운영 외에도 컴팩트하고 견고한 설계를 갖추고 있으며 여러 안전 기능을 지원하므로 산업용 어플리케이션에 적합합니다.