판매용 중고 TEGAL 901 #9071953

TEGAL 901은 진공 증발 코터/etcher/asher입니다. 박막 증발 코팅에 사용되는 자동, 고온, 고정밀 기기입니다. TEGAL Corporation에서 제조 한 901은 특허를받은 소스 기술을 광역 균일 코팅에 사용합니다. 그것 은 모든 증착 필요 에 대한 단일 "소오스 '를 갖추고 있으며, 금속, 절연체, 박막 등 여러 가지 물질 을 증착 할 수 있게 해 준다. 테갈 901 (TEGAL 901) 은 박막 제작을위한 최신 도구로서, 높은 정밀도와 높은 균일성의 이점을 제공합니다. 독특한 디자인 챔버에는 회전 플랫폼 (rotating platform) 이 장착되어 있으며, 넓은 지역에 걸쳐 박막 (thin film) 을 균일하고 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 이 자율 (autonomous) 장치는 다양한 응용 프로그램으로 고성능 박막 (thin film) 을 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기기는 진공실, 스테인리스 스틸 도가니 (stainless steel crucible) 및 열전도 표면을 가진 바디 (body) 와 같은 고급 구성 요소와 모듈로 구성됩니다. 다른 구성 요소로는 자동 제어 시스템, 증착 모니터 및 정확한 진공 게이지가 있습니다. 901은 또한 초경량 (Ultra Light) 과 비교적 작은 발자국을 갖추고 있으며, 이는 다른 실험실 장비 및 1 인 오프사이트 운영과 함께 포지셔닝할 수 있습니다. TEGAL 901에는 최대 10-6 Torr의 낮은 배경 압력을 제공하는 강력한 Vacuum N2 확산 펌프가 장착되어 있습니다. 고급 통합 프로세스 제어 시스템은 일관되고 정확한 프로세스 성능을 보장합니다. 이 정확한 시스템에는 로봇 암, 트리거, 모니터 포인트, 고급 시각 형상 도구가 포함됩니다. 또한, 내장 증착 제어 프로그램은 다음과 같은 박막 증착을 위해 사전 구성되어 있습니다. 알루미늄, 티타늄, 실리콘 및 기타 재료 유형. 901은 통합 설계를 통해 여러 기판을 정확하고 안정적으로 코팅할 수 있습니다. 박막 증착 기능은 높은 수준의 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 제공하며, 정확한 제작 또는 연구 목적에 적합합니다. 테갈 901 (TEGAL 901) 은 처리 시간을 적절히 보장하기 위해 다양한 증착 속도를 제공하는 반면, 사용자 친화적 인 직관적 인 소프트웨어는 다음과 같은 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 온도, 주기 시간 및 진공 수준. 또한 인체 공학적으로 설계된 기능으로 안전하고 효율적인 처리 및 운영이 가능합니다. 전반적으로, 901은 효율적이고, 사용하기 쉽고, 구성 가능한 증발 코터이며, 뛰어난 균일 한 박막 증착 결과를 제공합니다. TEGAL 901은 광범위한 증착 재료, 통합 프로세스 제어 및 인체 공학 디자인 (ergonomic design) 을 통해 안정적이고 성공적인 박막 제작 또는 연구 프로젝트에 대한 모든 요구 사항을 충족시킵니다.