판매용 중고 TEGAL 901 #293752942

TEGAL 901은 고급 반도체 장치 제조를 위해 설계된 정확하고, 효율적이며, 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 많은 고급 기능 (advanced features and function) 을 자랑하여 가장 강력한 에처/애셔 중 하나입니다. 그것 은 산화물 층 을 통한 에칭 (etching), 광저장제 (ashing of photoresist), 산화물 증착 (oxide deposition) 과 같은 응용 에 적합 하다. 901은 최대 수율을 위해 정확도가 높은 150mm x 150mm 공정 영역을 사용하며 3.5 미크론에서 10 미크론 사이의 공간 해상도를 선택할 수 있습니다. 또한 정밀 온도 조절 시스템을 제공하여 프로세스 창을 200 ° C ~ 950 ° C로 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 제조 공정 전반에 걸쳐 최적의 에칭 또는 애싱 조건이 유지됩니다. TEGAL 901은 또한 고급 자동화 및 제어를 특징으로하며, 최대 4 개의 카세트 로더와 최대 12 개의 회전 카세트를 동시에 작동 할 수 있습니다. 이를 통해 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한, 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 여기에는 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링, 조정하고, 경보를 설정하고, 공구 성능 드리프트를 감지하는 기능이 포함됩니다. 901은 또한 매우 효율적이며, 표준 산업 시스템보다 최대 85% 적은 에너지를 소비하고 시간당 최대 50% 더 많은 웨이퍼를 생산합니다. 에너지 소비와 제조 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 정교한 환경 완화 시스템은 위험한 가스와 미립자 잔류 물 (particulate residue) 이 안전한 수준으로 유지되어 안전하고 효율적인 운영을 보장합니다. TEGAL 901은 고급형 반도체 장치 제조를 위해 설계된 효율적이고 강력하며 안정적인 etcher/asher입니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 901은 최상의 수율을 위한 높은 성능과 정확성을 제공합니다.