판매용 중고 TEGAL 901 #293655088
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테갈 901 (TEGAL 901) 은 MEMS 제작에 사용되는 것과 같은 에치/가시 표면에 원하는 패턴을 생성하도록 설계된 고정밀 에치/애쉬 장비입니다. 시스템은 웨이퍼 (wafer) 에서 기판 (substrate) 또는 칩 (chip) 레벨 장치에 이르기까지 다양한 크기의 샘플을 처리할 수 있습니다. 901은 열 및 플라즈마 에칭 기법의 조합을 사용하여 원하는 패턴을 정확한 표준으로 정확하고 깨끗하게 제작합니다. TEGAL 901은 2 단계 프로세스, 먼저 에칭 단계 및 애싱 단계를 특징으로합니다. 에치 공정 동안, 가열 된 가스는 샘플의 표면을 에치하는 데 사용된다. 열 "에치 '과정 은" 가스' 분자 들 의 운동 과 화학 반응 때문 에 표면 물질 을 정밀 하게 제거 한다. 에칭 단계가 완료된 후, 장치는 플라즈마 애셔 (plasma asher) 를 사용하여 샘플의 나머지 재료를 완전히 제거합니다. 901은 고급 제어판을 사용하여 온도, 압력, 가스 유량 (gas flow rate) 과 같은 매개변수를 조정하고 모니터링합니다. 또한 특정 에치 패턴을 프로그래밍 할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 샘플 서피스에서 이미지나 패턴을 정확하게 복제할 수 있습니다. 이 기계는 시간에 따라 반복 가능하고 안정적인 결과를 위해 설계되었습니다. 품질 (Quality) 을 보장하기 위해 제조업체는 예상치 못한 이벤트의 경우 도구를 종료하는 다양한 fail-safe를 포함했습니다. 또한 최신 소프트웨어 패치 (성능 최적화) 로 업데이트할 수 있습니다. 마지막으로, 자산은 과거의 에칭 (etching) 이벤트에 대한 내부 로그와 추적 가능성 및 문서에 대한 결과를 유지 관리합니다. 결론적으로, TEGAL 901 etch/ashe 모델은 웨이퍼 및 칩 레벨 구성 요소에 대한 정확한 패턴을 생산하기위한 안정적이고 강력한 도구입니다. 정교한 제어, 모니터링, 프로그래밍 기능을 통해 반복 가능한 결과와 안정적인 성능을 얻을 수 있습니다. 또한, 장비의 고급 안전 측정 (Advanced Safety Measure) 은 식각 제품의 품질을 보장합니다.
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