판매용 중고 TEGAL 901 #293624765

테갈 901 (TEGAL 901) 은 장치 제조를 위해 높은 정밀 유기 층 에칭이 필요한 응용 프로그램을 위해 설계된 유기 에처/애셔 머신입니다. 기계는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 모두 수행할 수 있으며 고급 컴퓨터 제어 위치 검사 시스템을 사용합니다. 901은 에치 챔버 (etch chamber) 와 애셔 챔버 (asher chamber) 의 두 가지 유형의 챔버를 사용하며, 각각 다양한 기능과 기능이 있습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 는 최신 통합 기술을 갖춘 표준 에치 셀 (etch cell) 로, 광범위한 장치 구성 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 수백 ~ 수천 Torr의 가스 압력에서 10 ~ 150V 및 0.1 ~ 4.0 SCCM의 화학 유량을 사용합니다. 챔버에는 2 개의 전극과 균일하고 일관된 에칭을위한 DC 또는 RF 전원이 있습니다. 또한 프로세스 매개변수의 실시간 디스플레이 (real-time display) 를 통해 사용자는 프로세스 충실도를 극대화할 수 있는 조건을 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 두 번째 챔버 인 애셔 챔버 (asher chamber) 는 건식 에칭 공정을 위해 설계되었습니다. 에칭과 애싱 모두 가능한 고급 F1-Chem ™ 반응성 이온 에칭 (RIE) 가스 화학 시스템을 사용합니다. 작동 방식은 다른 압력, 온도, 전력 수준에서 작동할 수 있으므로 프로세스 유연성을 극대화할 수 있습니다. 챔버에는 큰 F1-스캔 (F1-Scan) 처리 셀이 있으며, 유연한 샘플 처리 기능을 위해 x 축과 y 축 모두에서 스캔 영역을 조정할 수 있습니다. 빠른 샘플 처리 시간으로 뛰어난 정확도를 만들 수 있습니다. TEGAL 901은 유기농 에칭 및 애싱 응용 분야에 적합한 선택입니다. 우수한 수율, 운영 비용 절감, 매우 정밀한 에칭 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 임베디드 (Embedded) 소프트웨어는 고속 제어 및 데이터 통합을 제공하여 디바이스 제작에 이상적입니다. 이 제품은 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 다양한 유용한 기능과 강력한 성능을 제공합니다.