판매용 중고 TEGAL 901 #293594519

테갈 901 (TEGAL 901) 은 다중 계층 제작 작업에 이상적인 에처 또는 애셔입니다. 고급 (High-End) 툴로, 사용자가 정확한 제어를 통해 다양한 기판에 복잡한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 계층을 생성할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 정확한 제어가 중요한 마이크로 일렉트로닉스, 반도체 및 기타 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 901에는 레이어를 정확하게 볼 수 있는 고해상도 광시야각 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 조정 가능한 초점, 조정 가능한 노출 시간, 에칭 및 어싱 (ashing) 프로세스의 조정 가능한 유지 시간이 포함됩니다. 또한 광범위한 프로그래밍 가능 매개변수 (programmable parameter) 를 제공하여 사용자에게 보다 정확한 결과를 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 진공 챔버 환경에서 사용하도록 설계되었으며 고속, 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. TEGAL 901은 반응성 이온 에칭 및 이온 밀링 프로세스에도 적합합니다. 또한 가스, 증기, 플라즈마 및 로토리 제트기와 같은 다양한 유형의 etch/ash 미디어와 호환됩니다. 이 에처/애셔는 알루미늄 합금 챔버를 사용하여 비교할 수없는 성능을 발휘합니다. 초소형 마무리를 제공하며, 난연성이 있으며, 고온과 마모에 강합니다. 이 장치에는 자동 로드 잠금 장치 (loadlock unit) 가 장착되어 있으며 고정밀 에칭 및 재싱을 보장하기 위해 난방/냉각기가 있습니다. 또한 고급 이온/플라즈마 소스 기술을 사용하여 더 나은 애싱 및 에칭을 달성합니다. 901은 최첨단 에처/애셔 (echer/asher) 이며, 고정밀 에칭 및 재싱이 필수적인 마이크로 일렉트로닉스 제작, 반도체 제작 및 기타 산업에 이상적인 선택입니다. 최고 수준의 정밀도를 유지하면서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제어하는 가장 강력하고 안정적인 도구입니다.